特許
J-GLOBAL ID：201203061886924550
三次元画像取得装置および三次元画像取得方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
波多野 久
, 関口 俊三
, 猿渡 章雄
, 河村 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-039913
公開番号（公開出願番号）：特開2012-137469
出願日： 2011年02月25日
公開日（公表日）： 2012年07月19日
要約：
【課題】光軸に垂直な面内方向の分解能を容易に変更することができる三次元画像取得装置および三次元画像取得方法を提供する。【解決手段】本発明の一実施形態に係る三次元画像取得装置10は、対物レンズ13の被計測体側共役点の位置と被計測体15の位置とのXY方向の相対的な位置関係を変更するよう載置台16をXY方向に変位させる載置台変位部22を有する。また、三次元画像取得装置10は、載置台変位部22および現在の載置台16の位置における被計測体15の高さを決定する高さ決定部54を制御することにより、載置台16の初期位置と、載置台16を初期位置からXY方向に被計測体側共役点の互いの離間距離より小さい距離移動させた1または複数の補間位置と、のそれぞれの位置での被計測体側共役点における被計測体15の高さの情報からなる被計測体15の三次元形状情報を取得する形状情報取得部55を有する。補間位置は、複数の補間位置パターンのうちの1つが選択されて決定される。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
光源と、
被計測体を載置する載置台と、
前記光源の光を通過する複数の開口部が互いに離間して2次元に配置されて設けられた開口板と、
前記複数の開口部を通過したそれぞれの光を前記被計測体側の共役点に集光するとともに、前記被計測体側共役点における反射光をそれぞれ対応する検出側共役点に集光する対物レンズと、
前記検出側共役点に集光された光の強度変化を検出可能な位置に配設された光検出器を複数有し、前記複数の光検出器のそれぞれは前記検出側共役点における光の強度に応じた信号を出力する光検出器群と、
前記被計測体の位置を光軸方向に変更するZ位置関係変更部と、
前記被計測体側共役点の位置と前記被計測体の位置との光軸方向に垂直な方向の相対的な位置を、初期位置と前記初期位置から光軸方向に垂直な方向に複数の前記被計測体側共役点の互いの離間距離より小さい距離移動させた1または複数の補間位置とで位置決めするとともに、前記補間位置は、複数の補間位置パターンのうちの1つが選択されて決定されるXY位置関係変更部と、
前記Z位置関係変更部および前記光検出器群を制御することにより、前記被計測体の位置を光軸方向に離散的に変更しつつ前記光検出器の信号を取得し、前記被計測体側共役点ごとに前記光検出器の信号の強度が最大となる前記被計測体の光軸方向の位置を求めてこの位置を前記被計測体の光軸方向の位置として決定する高さ決定部と、
前記XY位置関係変更部および前記高さ決定部を制御することにより、前記初期位置および前記補間位置のそれぞれにおいて前記高さ決定部に前記被計測体側共役点ごとの前記被計測体の光軸方向の位置を決定させ、前記初期位置および前記補間位置の各位置での複数の前記被計測体側共役点における前記被計測体の光軸方向の位置の情報からなる前記被計測体の三次元形状情報を取得する形状情報取得部と、
前記三次元形状情報を用いて前記被計測体の形状画像を生成する画像生成部と、
を備え、
前記画像生成部により生成される前記被計測体の前記形状画像は、前記補間位置パターンに応じて光軸方向に垂直な方向について異なる分解能を有することを特徴とする三次元画像取得装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (15件)：
2F065AA04
, 2F065AA24
, 2F065AA51
, 2F065AA53
, 2F065FF04
, 2F065JJ05
, 2F065JJ19
, 2F065JJ26
, 2F065LL04
, 2F065LL28
, 2F065MM03
, 2F065PP11
, 2F065QQ24
, 2F065QQ29
, 2F065QQ31
