特許
J-GLOBAL ID:201203062066847175
半導体装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
砂井 正之
, 藤原 康高
, 山下 一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-047380
公開番号(公開出願番号):特開2012-186262
出願日: 2011年03月04日
公開日(公表日): 2012年09月27日
要約:
【課題】しきい値を電気的に調整可能な半導体装置を提供する。【解決手段】半導体装置10では、チャネル領域14は対向する第1、第2の面14a、14bを有している。第1、第2不純物領域15、16が、チャネル領域14の両側に配設されている。第1ゲート電極18は、第1ゲート絶縁膜19を介して第1の面14aに、第1ゲート電圧Vg1が印加されると生じる第1反転層23の一側が第1不純物領域15に接触し、他側が第2不純物領域16から離間するように配設されている。第2ゲート電極20は、第2ゲート絶縁膜21を介して第2の面14bに、第2ゲート電圧Vg2が印加されると生じる第2反転層24の一側が第2不純物領域16に接触し、他側が第1不純物領域15から離間するように配設されている。第1、第2ゲート電圧Vg1、Vg2に応じて、第1、第2反転層23、24が接触し、第1、第2不純物領域15、16間が導通する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
第1の面および前記第1の面に対向する第2の面を有する第1導電型のチャネル領域と、
前記チャネル領域の両側に配設された第2導電型の第1不純物領域および第2導電型の第2不純物領域と、
第1ゲート絶縁膜を介して前記チャネル領域の前記第1の面に、第1ゲート電圧が印加されると前記チャネル領域に生じる第1反転層の一側が前記第1不純物領域に接触し、他側が前記第2不純物領域から離間するように配設された第1ゲート電極と、
第2ゲート絶縁膜を介して前記チャネル領域の前記第2の面に、第2ゲート電圧が印加されると前記チャネル領域に生じる第2反転層の一側が前記第2不純物領域に接触し、他側が前記第1不純物領域から離間するように配設された第2ゲート電極と、
を具備し、
前記第1および第2ゲート電圧に応じて、前記第1および第2反転層が接触し、前記第1および第2不純物領域間が導通することを特徴とする半導体装置。
IPC (5件):
H01L 29/786
, H01L 29/78
, H01L 21/336
, H01L 29/423
, H01L 29/49
FI (6件):
H01L29/78 622
, H01L29/78 618C
, H01L29/78 617N
, H01L29/78 301H
, H01L29/58 G
, H01L29/78 301X
Fターム (66件):
4M104AA01
, 4M104AA09
, 4M104BB01
, 4M104CC05
, 4M104DD04
, 4M104DD08
, 4M104DD09
, 4M104DD12
, 4M104DD43
, 4M104DD66
, 4M104DD71
, 4M104DD75
, 4M104FF04
, 4M104FF08
, 4M104FF11
, 4M104GG09
, 4M104GG14
, 4M104HH14
, 4M104HH20
, 5F110AA08
, 5F110BB03
, 5F110BB13
, 5F110CC10
, 5F110DD05
, 5F110DD13
, 5F110DD24
, 5F110EE09
, 5F110EE27
, 5F110EE38
, 5F110EE45
, 5F110EE48
, 5F110FF02
, 5F110FF23
, 5F110GG02
, 5F110GG22
, 5F110GG23
, 5F110HJ01
, 5F110HM12
, 5F110HM13
, 5F110NN02
, 5F110NN24
, 5F110QQ11
, 5F140AA06
, 5F140AA30
, 5F140AB04
, 5F140AC33
, 5F140AC36
, 5F140BA01
, 5F140BA16
, 5F140BB03
, 5F140BB05
, 5F140BB06
, 5F140BC15
, 5F140BE07
, 5F140BF01
, 5F140BF04
, 5F140BF42
, 5F140BF46
, 5F140BF47
, 5F140BF51
, 5F140BG28
, 5F140BG37
, 5F140BG40
, 5F140BH18
, 5F140BK13
, 5F140BK14
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