特許

J-GLOBAL ID：201203062082344299

圧電振動片、圧電振動子、電子デバイス

発明者： 西田 満広 ,  草野 淳
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (2件)： 村上 友一 ,  出口 隆弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-048056
公開番号（公開出願番号）：特開2012-186637
出願日： 2011年03月04日
公開日（公表日）： 2012年09月27日
要約：

【課題】実装時の振動部への応力を緩和させた圧電振動片、及びこれを用いた圧電振動子、電子デバイスの提供。【解決手段】水晶の結晶軸の、X軸とZ′軸に平行な面でY′軸に平行な方向を厚みとするATカット水晶で形成され、振動部22を有する薄肉部21と、薄肉部21より厚い厚肉部17とを備えた圧電振動片10であって、圧電振動片10は、+Z′軸をY′軸回りに+X軸方向への回転を正の回転角とし、Z′軸をY′軸回りに-120°から+60°の範囲で回転して得られるZ′′軸と、X軸をY′軸回りにZ′軸と共に回転し得られるX′軸と、に各々平行な縁辺を有し、厚肉部17には、縁辺の方向に緩衝部14を介してマウント部12が横並びに接続され、緩衝部14は、マウント部12と厚肉部17間にスリット16を有し、マウント部12は、マウント部12と緩衝部14と厚肉部17との並ぶ方向に対して直交方向の両端部に、切欠き部12aを有する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

水晶の結晶軸である、電気軸としてのX軸と、機械軸としてのY軸と、光学軸としてのZ軸と、からなる直交座標系の前記X軸を回転軸として、前記Z軸を前記Y軸の-Y方向へ回転させた軸をZ′軸とし、前記Y軸を前記Z軸の+Z方向へ回転させた軸をY′軸とし、前記X軸と前記Z′軸に平行な面で構成され、前記Y′軸に平行な方向を厚みとするATカット水晶により形成され、振動部を有する薄肉部と、前記薄肉部の周縁に設けられ、前記薄肉部より厚い厚肉部とを備えた圧電振動片であって、 前記圧電振動片は、 前記+Z′軸をY′軸回りに+X軸方向へ回転させることを正の回転角として、前記Z′軸を前記Y′軸回りに-120°から+60°の範囲で回転させて得られるZ′′軸と、前記X軸を前記Y′軸回りに前記Z′軸とともに回転させて得られるX′軸と、にそれぞれ平行な縁辺を有し、 前記厚肉部には、前記縁辺の方向に緩衝部を介してマウント部が横並びで接続され、 前記緩衝部は、前記マウント部と前記厚肉部との間にスリットを有し、 前記マウント部は、 前記マウント部と前記緩衝部と前記厚肉部との並ぶ方向に対して直交方向の両端部に、切欠き部を有している ことを特徴とする圧電振動片。

IPC (6件)：

H03H 9/19 ,  H03H 9/02 ,  H03B 5/32 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/22

FI (6件)：

H03H9/19 D ,  H03H9/02 K ,  H03B5/32 H ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/08 C ,  H01L41/22 Z

Fターム (31件)：

5J079BA02 ,  5J079BA43 ,  5J079BA44 ,  5J079CB02 ,  5J079FA01 ,  5J079FA14 ,  5J079FA24 ,  5J079FA26 ,  5J079HA03 ,  5J079HA07 ,  5J079HA09 ,  5J079HA10 ,  5J079HA14 ,  5J079HA16 ,  5J079HA22 ,  5J079HA25 ,  5J079HA28 ,  5J079HA29 ,  5J108BB02 ,  5J108BB03 ,  5J108CC04 ,  5J108CC09 ,  5J108CC10 ,  5J108CC12 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108EE07 ,  5J108EE13 ,  5J108EE18 ,  5J108FF11 ,  5J108GG03