特許

J-GLOBAL ID：201203062597089631

液浸露光装置、液浸露光方法、デバイス製造方法、プログラム、及び記録媒体

発明者： 岡田 尚也
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (3件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  西 和哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-220262
公開番号（公開出願番号）：特開2012-084879
出願日： 2011年10月04日
公開日（公表日）： 2012年04月26日
要約：

【課題】露光不良の発生を抑制する。【解決手段】露光装置EXは、液体LQを介して露光光ELで基板Pを露光する液浸露光装置である。露光装置EXは、露光光ELを射出可能な光学部材を含む光学系と、光学部材、及び光学部材と物体との間の液体LQを通過する露光光ELの光路Kの周囲の少なくとも一部に配置された液浸部材4と、液浸部材4の、物体の表面が対向する面を変形可能な変形装置7と、を備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

液体を介して露光光で基板を露光する液浸露光装置であって、 前記露光光を射出可能な光学部材を含む光学系と、 前記光学部材、及び前記光学部材と物体との間の液体を通過する露光光の光路の周囲の少なくとも一部に配置された液浸部材と、 前記液浸部材の、前記物体の表面が対向する面を変形可能な変形装置と、を備える液浸露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20

FI (2件)：

H01L21/30 515D ,  G03F7/20 521

Fターム (5件)：

5F146BA03 ,  5F146BA11 ,  5F146CB12 ,  5F146CB46 ,  5F146DA32