特許

J-GLOBAL ID：201203065434303970

キャンロール、長尺樹脂フィルム基板の処理装置及び処理方法

発明者： 大上 秀晴
出願人/特許権者： 住友金属鉱山株式会社
代理人 (2件)： 山本 正緒 ,  辻川 典範
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-005833
公開番号（公開出願番号）：特開2012-144798
出願日： 2011年01月14日
公開日（公表日）： 2012年08月02日
要約：

【課題】 処理装置等に用いるキャンロールにおいて、その外周面と長尺樹脂フィルム基板との間に形成されるギャップ部にガスを導入する際に、ギャップ部のギャップ間隔をほぼ一定にして、フィルムのシワ発生を防止することができるキャンロールを提供する。【解決手段】 周方向に沿って略均等な間隔をあけ且つ全周に亘り回転軸方向に沿って配設された複数のガス導入路11を有し、各ガス導入路11はキャンロール10の回転軸方向に沿って略均等な間隔で外周面10a側に開口する複数のガス放出孔12を有すると共に、外径が回転軸方向の中央部で最も長く且つ中央部から両端部に向けて次第に短くなるクラウン形状の外周面10aを備えている。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

真空チャンバー内においてロールツーロールで搬送される長尺樹脂フィルム基板を外周面に巻き付けながら熱負荷の掛かる処理をするキャンロールであって、周方向に沿って略均等な間隔をあけ且つ全周に亘り回転軸方向に沿って配設された複数のガス導入路を有し、これら複数のガス導入路の各々はキャンロールの回転軸方向に沿って略均等な間隔で外周面側に開口する複数のガス放出孔を有すると共に、外径が回転軸方向の中央部で最も長く且つ該中央部から両端部に向けて次第に短くなるクラウン形状の外周面を備えることを特徴とするキャンロール。

IPC (1件)：

C23C 14/56

FI (1件)：

C23C14/56 B

Fターム (13件)：

4K029AA11 ,  4K029AA25 ,  4K029BA08 ,  4K029BA25 ,  4K029BB02 ,  4K029BD00 ,  4K029CA05 ,  4K029DA05 ,  4K029DA06 ,  4K029DC16 ,  4K029DC39 ,  4K029JA10 ,  4K029KA03