感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、感活性光線性又は感放射線性膜及びパターン形成方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (18件)：蔵田昌俊 , 河野哲 , 中村誠 , 福原淑弘 , 峰隆司 , 白根俊郎 , 村松貞男 , 野河信久 , 幸長保次郎 , 河野直樹 , 砂川克 , 勝村紘 , 佐藤立志 , 岡田貴志 , 堀内美保子 , 竹内将訓 , 市原卓三 , 山下元
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-291237
公開番号（公開出願番号）：特開2012-137686
出願日： 2010年12月27日
公開日（公表日）： 2012年07月19日
要約：

【課題】光酸発生剤の液浸水への溶出の抑制と優れた液浸液追随性との両立を可能とし、さらにラフネス特性にも優れた感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びにそれを用いた感活性光線性又は感放射線性膜及びパターン形成方法を提供すること。【解決手段】 (A)活性光線または放射線の照射により下記一般式(I)で表される酸を発生する化合物、及び(B)酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂を含有する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。(一般式(I)中、nは2以上の整数を表し、Xは炭化水素基を表す。)【化1】【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)活性光線または放射線の照射により下記一般式(I)で表される酸を発生する化合物、及び(B)酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂を含有する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/004 , G03F 7/039 , H01L 21/027 , C08F 220/10

FI (5件)：

G03F7/004 503A , G03F7/039 601 , G03F7/004 501 , H01L21/30 502R , C08F220/10

Fターム (82件)：

2H125AF17P , 2H125AF18P , 2H125AF19P , 2H125AF20P , 2H125AF21P , 2H125AF22P , 2H125AF33P , 2H125AF38P , 2H125AF70P , 2H125AH05 , 2H125AH14 , 2H125AH15 , 2H125AH16 , 2H125AH17 , 2H125AH19 , 2H125AH22 , 2H125AH24 , 2H125AH25 , 2H125AH29 , 2H125AJ12X , 2H125AJ14X , 2H125AJ54X , 2H125AJ63X , 2H125AJ64X , 2H125AJ65X , 2H125AJ66X , 2H125AJ68X , 2H125AJ69X , 2H125AM22P , 2H125AM23P , 2H125AM27P , 2H125AM66P , 2H125AM91P , 2H125AM94P , 2H125AM99P , 2H125AN08P , 2H125AN35P , 2H125AN38P , 2H125AN39P , 2H125AN42P , 2H125AN54P , 2H125AN62P , 2H125AN63P , 2H125AN65P , 2H125AN86P , 2H125BA01P , 2H125BA26P , 2H125BA32P , 2H125BA33P , 2H125CA12 , 2H125CB08 , 2H125CB09 , 2H125CB12 , 2H125CB16 , 2H125CC03 , 2H125CC15 , 2H125FA03 , 4J100AJ02S , 4J100AL08P , 4J100AL08Q , 4J100AL08R , 4J100AL08S , 4J100AL08T , 4J100BA03R , 4J100BA03S , 4J100BA05S , 4J100BA15S , 4J100BA40P , 4J100BB18S , 4J100BC03Q , 4J100BC04Q , 4J100BC04S , 4J100BC04T , 4J100BC09Q , 4J100BC09R , 4J100BC12Q , 4J100BC53P , 4J100CA03 , 4J100CA05 , 4J100CA06 , 4J100DA39 , 4J100JA37

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