特許
J-GLOBAL ID:201203065596310422
光スキャナ及び画像投影装置
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-204311
公開番号(公開出願番号):特開2012-058662
出願日: 2010年09月13日
公開日(公表日): 2012年03月22日
要約:
【課題】製造誤差などが生じた場合であっても、共振周波数ばらつきを抑制することが可能な光スキャナと、この光スキャナを備えた画像投影装置とを提供すること。【解決手段】揺動軸線を中心として所定の共振周波数で揺動するミラー部と、ミラー部を両持支持する梁部と、梁部の端部が連結される外縁部と、ミラー部を揺動する駆動源と、ミラー部と外縁部との間で梁部ミラー部及び外縁部から離間する質量体と、質量体と梁部とを連結する連結部と、を有する光スキャナである。質量体は、梁部において、揺動軸線に直交する方向の幅が所定幅変化した場合に生じる梁部の剛性変化に起因する共振周波数の変動を、質量体が所定幅変化することで生じる慣性モーメント変化によって抑制する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
所定の共振周波数において共振駆動され、入射した光を所定方向に走査する光スキャナであって、
揺動軸線を中心として、前記所定の共振周波数で揺動するミラー部と、
前記ミラー部に連結され、前記揺動軸線に平行に伸長する第1捩れ梁と、前記ミラー部に連結され、前記第1捩れ梁と反対方向に伸長する第2捩れ梁と、を有する梁部と、
前記第1捩れ梁の端部と、前記第2捩れ梁の端部とが連結される外縁部と、
前記ミラー部を揺動する駆動源と、
前記ミラー部と前記外縁部との間において、前記梁部、前記ミラー部及び前記外縁部から離間する質量体と、
前記質量体と前記梁部とを連結する連結部とを備え、
前記質量体は、
前記梁部において、前記揺動軸線に直交する第1方向の幅が所定幅変化することで生じる前記梁部の剛性変化に起因する前記共振周波数の変動を、前記質量体が前記所定幅変化することで生じる前記揺動軸線を中心とする慣性モーメントの変化によって抑制するように構成される、
ことを特徴とする光スキャナ。
IPC (3件):
G02B 26/10
, H04N 1/113
, B81B 3/00
FI (3件):
G02B26/10 104Z
, H04N1/04 104Z
, B81B3/00
Fターム (21件):
2H045AB10
, 2H045AB38
, 2H045AB72
, 2H045AB81
, 2H045BA13
, 2H045DA15
, 3C081AA01
, 3C081AA18
, 3C081BA28
, 3C081BA44
, 3C081BA46
, 3C081BA47
, 3C081BA55
, 3C081EA08
, 3C081EA11
, 5C072AA03
, 5C072BA20
, 5C072HA02
, 5C072HA14
, 5C072QA14
, 5C072XA10
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