塩及び酸発生剤の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：中山亨 , 坂元徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-024652
公開番号（公開出願番号）：特開2012-072109
出願日： 2011年02月08日
公開日（公表日）： 2012年04月12日
要約：

【課題】高い収率で酸発生剤を製造するために用いられる中間体を提供する。【解決手段】式(I0)で表される塩。[式(I0)中、L1は、2価のC1〜C17炭化水素基を表し、該2価の炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-で置き換わっていてもよい。Q1及びQ2は、それぞれ独立に、フッ素原子又はC1〜C6ペルフルオロアルキル基を表す。Zm+は、m価の有機カチオン又は無機カチオンを表す。mは、1又は2を表す。]【選択図】なし

請求項（抜粋）：

式(I0)で表される塩。

IPC (6件)：

C07D 233/60 , C07C 381/12 , C07C 309/17 , C07C 303/22 , C07D 233/64 , C07D 333/46

FI (6件)：

C07D233/60 103 , C07C381/12 , C07C309/17 , C07C303/22 , C07D233/64 104 , C07D333/46

Fターム (2件)：

4H006AA02 , 4H006AC48

引用特許：

審査官引用 (1件)

化学増幅型レジスト組成物の酸発生剤用の塩
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-037622 出願人：住友化学株式会社

引用文献：

審査官引用 (1件)

PMSE Reprints, 2008, 99, p.8-9

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