固体光源を利用した量子効率高速測定装置

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人大島特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-552036
公開番号（公開出願番号）：特表2012-519276
出願日： 2010年03月01日
公開日（公表日）： 2012年08月23日
要約：

本発明は、少なくとも1つの被試験デバイス(DUT)と、50nm未満の帯域幅を有する少なくとも1つの、所定の特性が付与された光源とを含み、前記所定の特性が付与された光源の一部をモニタリングすることができるように構成された量子効率(QE)高速測定装置を提供する。前記光源を前記DUTに導くための伝達光学系が提供され、制御部によって前記光源を時間依存的に駆動し、少なくとも1つの反射光測定アセンブリによって前記DUTで反射された前記光源の一部を受光する。時間分解測定装置は、前記光源によって前記DUTで生成された電流及び/または電圧を分解することができるようにプログラムされたコンピュータによって、前記光源からの少なくとも1つの波長の入射強度及び前記時間分解された測定値に基づいて、前記DUTの内部QE値を求め、出力する。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

量子効率(QE)高速測定装置であって、 (a)少なくとも1つの被試験デバイス(DUT)と、 (b)少なくとも1つの光収集光学系及び少なくとも1つの光検出器を含む光源モニタリング部によってその一部がモニタリングされる、50nm未満の帯域幅を有する少なくとも1つのフィルタ処理されたLEDを含む少なくとも1つの、所定の特性が付与された光源と、 (c)前記所定の特性が付与された光源を前記DUTへ導く伝達光学系と、 (d)前記所定の特性が付与された光源に対する前記DUTの応答を個別に識別すべく、前記所定の特性が付与された光源を時間依存的に駆動する制御部と、 (e)少なくとも1つの反射光収集光学系及び前記DUTから反射された前記所定の特性が付与された光源の一部を受光することができるように構成された少なくとも1つの光検出器を含む少なくとも1つの反射光測定アセンブリと、 (f)前記所定の特性が付与された光源によって前記DUTで生成された電流、電圧またはそれらの組み合わせを前記所定の特性が付与された光源で分解することができるように構成された、(i)電流測定装置、(ii)電圧測定装置または(i)及び(ii)の組み合わせを含む時間分解測定装置と、 (g)前記所定の特性が付与された光源からの少なくとも1つの波長の入射強度及び前記時間分解された測定値に基づいて前記DUTについての内部QE値を求めて出力することができるようにプログラムされたコンピュータとを含む装置。

IPC (4件)：

G01M 11/00 , G01J 1/00 , H01L 31/04 , H01L 33/00

FI (4件)：

G01M11/00 T , G01J1/00 B , H01L31/04 K , H01L33/00 L

Fターム (19件)：

2G065AA04 , 2G065AB01 , 2G065AB27 , 2G065AB28 , 2G065BA01 , 2G065BB02 , 2G065BB06 , 2G065BB11 , 2G065BC21 , 2G065BC22 , 2G086EE04 , 2G086EE12 , 5F041AA31 , 5F041BB33 , 5F041EE01 , 5F041EE12 , 5F041EE22 , 5F041FF16 , 5F151KA09

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