特許
J-GLOBAL ID：201203067661331966
静電容量式透過型タッチパネルの電極層パターン欠陥検査修正システム
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-224662
公開番号（公開出願番号）：特開2012-079148
出願日： 2010年10月04日
公開日（公表日）： 2012年04月19日
要約：
【課題】導通検査機により得られた検査結果を、画像検査機による検査エリアの最小化に利用し、導通検査機及び画像検査機に掛かる検査コストの低減を図り、良品率を向上させる。【解決手段】タッチパネルの製造工程において、導通検査機IIとカラーフィルタやフォトマスク等のパターン欠陥検査にて使用されている画像検査機III と、レビュー修正機IVとを利用した静電容量式透過型タッチパネルの電極層パターン欠陥検査修正システムであって、導通検査機IIを画像検査機III による検査エリアの最小化に利用し、レビュー修正機IVにより、タッチパネルAの欠陥検査結果に基づく欠陥パターンの修正を行う。【選択図】図7
請求項（抜粋）：
1)直交積層配置前のタッチパネルのX軸方向電極板における各X軸方向電極層の各対の始端子と終端子間の抵抗値と、Y軸方向電極板における各Y軸方向電極層の各対の始端子と終端子間の抵抗値とを、導通検査機を用いて測定し、規定値以上の抵抗値の発生した対の始端子と終端子をオープン欠陥発生部位として特定するオープン欠陥発生端子特定段階と、
2)直交積層配置前の前記タッチパネルのX軸方向電極板における各X軸方向電極層の互いに隣接する始端子間又は終端子間の抵抗値、及びY軸方向電極板における各Y軸方向電極層の互いに隣接する終端子間又は始端子間の抵抗値と、直交積層配置後の前記タッチパネルのX軸方向電極板における各X軸方向電極層の始端子又は終端子とY軸方向電極板における各Y軸方向電極層の終端子又は始端子との間の抵抗値とを、導通検査機を用いて測定し、規定値以下の抵抗値の発生した端子を、ショート欠陥発生部位として特定するショート欠陥発生端子特定段階と、
3)オープン欠陥又は/及びショート欠陥発生部位として特定された前記始端子若しくは終端子を含む、前記X軸方向電極板のX軸方向電極層、又は/及び、前記Y軸方向電極板の各Y軸方向電極層を、タッチパネル画像検査対象エリアとして絞り込む画像検査対象エリア絞り込み段階と、
4)前記オープン欠陥又は/及びショート欠陥発生部位として特定され絞り込まれた前記タッチパネル画像検査対象エリアを、画像検査機を用いて画像データとして撮り込む画像データ撮り込み段階と、
5)撮り込まれた画像データと予め準備された前記検査対象部位に相当する部位の基準画像データとを、レビュー修正機を用いて比較対照し、差分画像データを得る差分画像データ取得段階と、
6)前記基準画像データに整合するように、前記画像検査対象エリアのX軸方向電極層のパターン又は/及びY軸方向電極層の前記差分画像データ相当部分のパターンを修正する電極層パターン修正段階と、
を含むことを特徴とする静電容量式透過型タッチパネルの電極層パターン欠陥検査修正システム。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G06F3/041 350C
, G06F3/041 330A
, G06F3/044 E
5B068BB09
, 5B068BC13
, 5B087CC13
, 5B087CC39
