EL表示装置の作製方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-190293
公開番号（公開出願番号）：特開2012-043800
出願日： 2011年09月01日
公開日（公表日）： 2012年03月01日
要約：

【課題】画素構造を最適化することにより、開口率を向上させたEL表示装置を提供する。【解決手段】スイッチング用TFTのゲート電極に近接して設けられた半導体層と、電流制御用TFTのゲート電極に近接して設けられた半導体層と、スイッチング用TFTのゲート電極および電流制御用TFTのゲート電極と同一面上に設けられたソース配線と、スイッチング用TFTのゲート電極、電流制御用TFTのゲート電極、およびソース配線を覆う絶縁膜と、ソース配線および前記スイッチング用TFTの半導体層に電気的に接続された第1の接続配線と、電流制御用TFTのゲート電極および前記スイッチング用TFTの半導体層に電気的に接続された第2の接続配線と、電流制御用TFTの半導体層と電気的に接続された画素電極と、発光層と、画素電極と対向する電極とを有するEL素子とを有するEL表示装置。【選択図】図15

請求項（抜粋）：

スイッチング用TFTのゲート電極と、電流制御用TFTのゲート電極と、前記スイッチング用TFTのゲート電極に近接して設けられた前記スイッチング用TFTの半導体層と、前記電流制御用TFTのゲート電極に近接して設けられた前記電流制御用TFTの半導体層と、前記スイッチング用TFTのゲート電極および前記電流制御用TFTのゲート電極と同一面上に設けられたソース配線と、前記スイッチング用TFTのゲート電極、前記電流制御用TFTのゲート電極、および前記ソース配線を覆う絶縁膜と、前記絶縁膜の上方に設けられ、前記スイッチング用TFTのゲート電極と電気的に接続されたゲート配線と、前記絶縁膜の上方に設けられ、前記ソース配線および前記スイッチング用TFTの半導体層に電気的に接続された第1の接続配線と、前記絶縁膜の上方に設けられ、前記電流制御用TFTのゲート電極および前記スイッチング用TFTの半導体層に電気的に接続された第2の接続配線と、前記絶縁膜の上方に設けられ、前記電流制御用TFTに電気的と接続された電源線と、前記絶縁膜の上方に設けられ、前記電流制御用TFTの半導体層と電気的に接続された画素電極と、発光層と、前記画素電極と対向する電極を有するEL素子と、を有する画素を有し、前記画素電極と前記ソース配線は重なって配置されているEL表示装置の作製方法であって、前記スイッチング用TFTの半導体層および前記電流制御用TFTの半導体層の半導体層を形成する工程と、前記スイッチング用TFTのゲート電極、前記電流制御用TFTのゲート電極、前記ソース配線を同時に形成する工程と、前記絶縁膜を形成する工程と、前記絶縁膜の上方に、前記ゲート配線、前記第1の接続配線、前記第2の接続配線、前記電源線を同時に形成する工程と、前記画素電極を形成する工程と、を有することを特徴とするEL表示装置の作製方法。

IPC (8件)：

H05B 33/10 , H01L 21/336 , H01L 29/786 , H01L 21/20 , G09F 9/30 , H01L 27/32 , H01L 51/50 , H05B 33/14

FI (10件)：

H05B33/10 , H01L29/78 612D , H01L29/78 618C , H01L29/78 626C , H01L29/78 627G , H01L21/20 , G09F9/30 365Z , G09F9/30 338 , H05B33/14 A , H05B33/14 Z

Fターム (123件)：

3K107AA01 , 3K107AA05 , 3K107BB01 , 3K107CC11 , 3K107CC33 , 3K107CC35 , 3K107CC36 , 3K107CC45 , 3K107EE03 , 5C094AA10 , 5C094AA21 , 5C094AA42 , 5C094AA43 , 5C094AA44 , 5C094BA03 , 5C094BA27 , 5C094DA13 , 5C094DB04 , 5C094EA04 , 5C094EA10 , 5C094GB10 , 5F110AA01 , 5F110AA04 , 5F110AA16 , 5F110AA26 , 5F110BB02 , 5F110BB04 , 5F110CC02 , 5F110DD02 , 5F110DD07 , 5F110DD13 , 5F110DD14 , 5F110DD15 , 5F110DD17 , 5F110DD21 , 5F110DD25 , 5F110EE01 , 5F110EE04 , 5F110EE14 , 5F110EE23 , 5F110FF01 , 5F110FF02 , 5F110FF04 , 5F110FF09 , 5F110FF28 , 5F110FF30 , 5F110GG01 , 5F110GG02 , 5F110GG03 , 5F110GG13 , 5F110GG17 , 5F110GG22 , 5F110GG25 , 5F110GG43 , 5F110GG45 , 5F110GG46 , 5F110GG47 , 5F110HJ01 , 5F110HJ04 , 5F110HJ12 , 5F110HJ13 , 5F110HJ23 , 5F110HL03 , 5F110HL04 , 5F110HL07 , 5F110HM13 , 5F110HM15 , 5F110NN03 , 5F110NN22 , 5F110NN24 , 5F110NN27 , 5F110NN35 , 5F110NN73 , 5F110PP01 , 5F110PP03 , 5F110PP04 , 5F110PP05 , 5F110PP06 , 5F110PP29 , 5F110PP34 , 5F110PP35 , 5F110QQ06 , 5F110QQ11 , 5F110QQ19 , 5F110QQ23 , 5F110QQ24 , 5F110QQ25 , 5F110QQ28 , 5F152AA02 , 5F152AA06 , 5F152AA07 , 5F152AA08 , 5F152BB02 , 5F152CC02 , 5F152CD13 , 5F152CD14 , 5F152CD15 , 5F152CD23 , 5F152CD24 , 5F152CE02 , 5F152CE05 , 5F152CE06 , 5F152CE13 , 5F152CE14 , 5F152CE24 , 5F152CE45 , 5F152CE47 , 5F152CF18 , 5F152CG10 , 5F152CG13 , 5F152EE16 , 5F152FF03 , 5F152FF06 , 5F152FF07 , 5F152FF22 , 5F152FF28 , 5F152FF30 , 5F152FF39 , 5F152FG04 , 5F152FG14 , 5F152FG23 , 5F152FH02 , 5F152FH03

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