リンク式ロボットアーム装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐野禎哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-202327
公開番号（公開出願番号）：特開2012-056035
出願日： 2010年09月09日
公開日（公表日）： 2012年03月22日
要約：

【課題】アームの制御性低下を効果的に抑制するとともに、吸着ON・OFF状態の切替応答性が向上するリンク式ロボットアーム装置を提供する。【解決手段】アームの先端側に配置され且つ吸着用エア供給口C3を有するエンドエフェクタCによって搬送対象物を吸着保持可能なリンク式ロボットアーム装置Xとして、アーム1の内部に設けたエア管4を介して吸着用エア供給口C3に接続され、吸着用エア供給口C3に吸着用エアを供給可能な状態と、吸着用エア供給口C3への吸着用エア供給を停止する状態との間で切替可能な吸着切替ユニット3を備え、この吸着切替ユニット3を、アーム1のうちアーム長1Lの半分1Cよりもシータ軸J3に近い位置に設けた。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

複数のリンク要素から構成されたアームと、当該アームのうち最も基端側に配置した第1リンク要素を旋回軸によって旋回可能に支持する基台とを備え、前記アームのうち最も先端側に配置され且つ吸着用エア供給口を有するエンドエフェクタによって搬送対象物を吸着保持可能なリンク式ロボットアーム装置であって、前記アームの内部に設けたエア管を介して前記吸着用エア供給口に接続され、吸着用エア供給口に吸着用エアを供給可能な状態と、吸着用エア供給口への吸着用エア供給を停止する状態との間で切替可能な吸着切替ユニットを備え、当該吸着切替ユニットを、前記アームのうち当該アームの全長の半分よりも前記旋回軸に近い位置に付帯していることを特徴とするリンク式ロボットアーム装置。

IPC (3件)：

B25J 15/06 , B25J 9/06 , H01L 21/677

FI (3件)：

B25J15/06 B , B25J9/06 D , H01L21/68 B

Fターム (40件)：

3C007AS01 , 3C007AS24 , 3C007BS15 , 3C007CU06 , 3C007DS01 , 3C007FS01 , 3C007FS04 , 3C007FU05 , 3C007JS06 , 3C007NS12 , 3C007NS13 , 3C707AS01 , 3C707AS24 , 3C707BS15 , 3C707CU06 , 3C707DS01 , 3C707FS01 , 3C707FS04 , 3C707FU05 , 3C707JS06 , 3C707NS12 , 3C707NS13 , 5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031FA01 , 5F031FA02 , 5F031FA07 , 5F031GA02 , 5F031GA08 , 5F031GA43 , 5F031GA47 , 5F031GA49 , 5F031GA51 , 5F031GA53 , 5F031GA54 , 5F031LA07 , 5F031LA12 , 5F031LA13 , 5F031LA14 , 5F031PA30

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