ポジ型感光性樹脂組成物、硬化膜の形成方法、硬化膜、有機EL表示装置、及び、液晶表示装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人特許事務所サイクス
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-274670
公開番号（公開出願番号）：特開2012-159830
出願日： 2011年12月15日
公開日（公表日）： 2012年08月23日
要約：

【課題】適用性に優れ、冷蔵保存時の析出が防止できるポジ型感光性樹脂組成物の提供。【解決手段】(成分A)式(1)で表される構成単位A及び構成単位Bを含み、重量平均分子量が1,000〜10,000である共重合体、(成分B)式(2)で表される重量平均分子量が1,000〜50,000である重合体、(成分C)酸により分解してカルボキシル基又はフェノール性水酸基を生成する酸分解性基を有する構成単位と、カルボキシル基又はフェノール性水酸基と反応して共有結合を形成しうる官能基を有する構成単位とを有する樹脂、光酸発生剤、並びに、溶剤を含有するポジ型感光性樹脂組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(成分A)下記一般式(1)で表される構成単位A及び構成単位Bを含み、重量平均分子量が1,000〜10,000である共重合体、 (成分B)下記一般式(2)で表される重量平均分子量が1,000〜50,000である重合体、 (成分C)酸により分解してカルボキシル基又はフェノール性水酸基を生成する酸分解性基を有する構成単位と、カルボキシル基又はフェノール性水酸基と反応して共有結合を形成しうる官能基を有する構成単位とを有する樹脂、 (成分D)光酸発生剤、並びに、 (成分E)溶剤を含有し、前記成分Aの含有量が0.001〜1.00質量%であり、前記成分Bの含有量が0.001〜1.00質量%であることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (9件)：

G03F 7/004 , G03F 7/039 , G03F 7/075 , H01L 21/027 , H01L 51/50 , H05B 33/22 , H05B 33/10 , C08F 220/24 , C08F 220/28

FI (11件)：

G03F7/004 504 , G03F7/039 601 , G03F7/075 521 , G03F7/004 501 , G03F7/004 503A , H01L21/30 502R , H05B33/14 A , H05B33/22 Z , H05B33/10 , C08F220/24 , C08F220/28

Fターム (54件)：

2H125AE12P , 2H125AF52P , 2H125AH05 , 2H125AH06 , 2H125AH07 , 2H125AH12 , 2H125AH13 , 2H125AJ04Y , 2H125AJ14X , 2H125AJ14Y , 2H125AJ44Y , 2H125AJ48Y , 2H125AJ52X , 2H125AJ52Y , 2H125AJ63X , 2H125AJ63Y , 2H125AJ64X , 2H125AJ64Y , 2H125AJ85Y , 2H125AM26P , 2H125AM27P , 2H125AM86P , 2H125AN36P , 2H125AN39P , 2H125BA01P , 2H125BA32P , 2H125BA33P , 2H125CA22 , 2H125CA24 , 2H125CB05 , 2H125CC03 , 2H125CC15 , 2H125CD08P , 2H125CD12P , 2H125CD38 , 2H125CD40 , 3K107AA01 , 3K107BB01 , 3K107CC42 , 3K107CC45 , 3K107DD90 , 3K107DD97 , 3K107FF05 , 3K107FF14 , 3K107FF18 , 3K107GG12 , 4J100AL08P , 4J100AL08Q , 4J100BA03P , 4J100BA08P , 4J100BB18Q , 4J100CA04 , 4J100DA01 , 4J100JA37

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