特許
J-GLOBAL ID：201203069938215333
光モジュール、および光測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
上柳 雅誉
, 須澤 修
, 宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-262186
公開番号（公開出願番号）：特開2012-113133
出願日： 2010年11月25日
公開日（公表日）： 2012年06月14日
要約：
【課題】干渉フィルターに温度センサーを設けた場合でも配線構成を簡単にできる光モジュール、および光測定装置を提供する。【解決手段】光モジュールは、第一基板、第二基板、第一基板に設けられた第一反射膜、第二基板に設けられて第一反射膜とギャップを介して対向する第二反射膜、電圧印可によりギャップ寸法を変化させる静電アクチュエーター、静電アクチュエーターに接続された外側駆動電極線、および外側駆動電極線に接続された第一センサー配線551および第二センサー配線552を有する温度センサー55を備えた波長可変干渉フィルターと、外側駆動電極線に接続されて静電アクチュエーターおよび温度センサー55に電圧を印加する第一駆動回路72、および第二センサー配線552に接続されて温度センサー55からの温度検出信号が入力される温度検出回路74を備えたフィルター駆動回路部と、を具備した。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
第一基板、
前記第一基板に対向する第二基板、
前記第一基板に設けられた第一反射膜、
前記第二基板に設けられ、前記第一反射膜とギャップを介して対向する第二反射膜、
電圧が印可されることで、前記ギャップの寸法を変化させるギャップ可変部、
前記ギャップ可変部と電気的に接続された駆動電極線、
および、当該波長可変干渉フィルターの温度を検出するとともに、第一センサー配線および第二センサー配線を有する温度センサー、
を備える波長可変干渉フィルターと、
前記駆動電極線に接続されて、前記ギャップ可変部および前記温度センサーに電圧を印加する駆動回路、
および、前記第二センサー配線に接続されて、前記温度センサーから出力された温度検出信号が入力される温度検出回路、
を備えるフィルター駆動回路部と、を具備し、
前記第一センサー配線は、前記駆動電極線に接続された
ことを特徴とする光モジュール。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (25件)：
2G020AA04
, 2G020AA08
, 2G020CB24
, 2G020CC23
, 2G020CD03
, 2G020CD24
, 2G020CD38
, 2G020DA05
, 2G020DA12
, 2G020DA33
, 2H141MA22
, 2H141MB28
, 2H141MC06
, 2H141MD04
, 2H141ME01
, 2H141ME09
, 2H141ME23
, 2H141ME24
, 2H141ME25
, 2H141MF04
, 2H141MF21
, 2H141MG10
, 2H141MZ03
, 2H141MZ12
, 2H141MZ28
