共振反射装置、それを用いる光学式ガス分析装置、画像スキャナ、及び、共振反射装置の制御方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：酒井宏明 , 高村順
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-222831
公開番号（公開出願番号）：特開2012-078515
出願日： 2010年09月30日
公開日（公表日）： 2012年04月19日
要約：

【課題】より安定して可動部を振動させることができる共振反射装置、それを用いる光学式ガス分析装置、画像スキャナ、及び、共振反射装置の制御方法を提供することを目的とする。【解決手段】固定部、一方の端部が固定部と連結したトーションバー、トーションバーの他方の端部と連結し、トーションバーとの連結部分を回転軸として固定部に対して回動する板状部材であり、少なくとも一方の面で光を反射する可動部、及び、交流電流が供給されることで可動部を回動させる駆動部を備える反射手段と、反射手段の可動部の温度を非接触で検出する温度検出手段と、温度検出手段で検出した可動部の温度に基づいて、駆動部に供給する交流電流に付加するバイアス電流の大きさを調整する制御手段と、を有することで上記課題を解決する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

固定部、一方の端部が前記固定部と連結したトーションバー、前記トーションバーの他方の端部と連結し、前記トーションバーとの連結部分を回転軸として前記固定部に対して回動する板状部材であり、少なくとも一方の面で光を反射する可動部、及び、交流電流が供給されることで前記可動部を回動させる駆動部を備える反射手段と、前記反射手段の前記可動部の温度を非接触で検出する温度検出手段と、前記温度検出手段で検出した前記可動部の温度に基づいて、前記駆動部に供給する交流電流に付加するバイアス電流の大きさを調整する制御手段と、を有することを特徴とする共振反射装置。

IPC (3件)：

G02B 26/10 , G01N 21/27 , B81B 3/00

FI (3件)：

G02B26/10 104Z , G01N21/27 Z , B81B3/00

Fターム (25件)：

2G059AA01 , 2G059BB01 , 2G059CC04 , 2G059CC05 , 2G059CC06 , 2G059EE13 , 2G059JJ05 , 2G059JJ15 , 2G059KK01 , 2H045AB10 , 2H045AB16 , 2H045AB24 , 2H045AB38 , 2H045AB48 , 2H045DA31 , 3C081AA13 , 3C081BA27 , 3C081BA28 , 3C081BA33 , 3C081BA44 , 3C081BA47 , 3C081BA54 , 3C081BA79 , 3C081EA14 , 3C081EA26

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