特許

J-GLOBAL ID：201203070440231070

パルス間位相ズレ測定装置、オフセット周波数制御装置、パルス間位相ズレ測定方法、オフセット周波数制御方法

発明者： 朱 郁葱 ,  大舘 暁 ,  内川 清
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (2件)： 古谷 史旺 ,  森 俊秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-283176
公開番号（公開出願番号）：特開2012-132711
出願日： 2010年12月20日
公開日（公表日）： 2012年07月12日
要約：

【課題】光周波数コム光源のパルス間位相ズレを高効率に測定する。【解決手段】光周波数コム光源(11)が発振する光パルス信号(S)を1対の光パルス信号(Sa、Sb)に分岐してから再統合する光路設定手段(12、13、14)と、合成光パルス信号(Sc、Se、Sf)に含まれる1対の光パルス信号の間のパルスシフト数Nが1以上の整数となるように光周波数コム光源の発振周期と1対の光パルス信号の光路長差との関係を設定するパルスシフト手段(14)と、1対の光パルス信号の間の位相シフト量をM通りの位相シフト量(M:3以上の整数)に設定する位相シフト手段(17、15)と、M通りの位相シフト量の下で1対の光パルス信号が示すM通りの干渉強度を合成光パルス信号に基づき検出する検出手段(16-0、16-1、16-2)と、M通りの干渉強度の関係と前記M通りの位相シフト量の関係とに基づき光パルス信号(S)のパルス間位相ズレを算出する演算手段(18)とを備える。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

光周波数コム光源が発振する光パルス信号を1対の光パルス信号に分岐してから再統合することにより合成光パルス信号を生成する光路設定手段と、 前記合成光パルス信号に含まれる1対の光パルス信号の間のパルスシフト数Nが1以上の整数となるように前記光周波数コム光源の発振周期と前記1対の光パルス信号の光路長差との関係を設定するパルスシフト手段と、 前記1対の光パルス信号の間の位相シフト量をM通りの位相シフト量(M:3以上の整数)に設定する位相シフト手段と、 前記M通りの位相シフト量の下で前記1対の光パルス信号が示すM通りの干渉強度を前記合成光パルス信号に基づき検出する検出手段と、 前記M通りの干渉強度の関係と前記M通りの位相シフト量の関係とに基づき、前記光周波数コム光源が発振する光パルス信号のパルス間位相ズレを算出する演算手段と を備えることを特徴とするパルス間位相ズレ測定装置。

IPC (1件)：

G01J 9/02

FI (1件)：

G01J9/02