特許
J-GLOBAL ID：201203070906909978
近接場光学顕微鏡、及び試料観察方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
杉村 憲司
, 下地 健一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-076697
公開番号（公開出願番号）：特開2012-027005
出願日： 2011年03月30日
公開日（公表日）： 2012年02月09日
要約：
【課題】近接場光を生成または選択的に透過させる微細構造を試料に直接接触させることなく、高分解能観察可能な走査型近接場光学顕微鏡を提供する。【解決手段】本発明に係る走査型近接場光学顕微鏡100は、試料107に照明光を射出するための光照射部102と、光を受光する受光部112と、光照射102部の射出側および受光部112の入射側のうち少なくとも何れか一方に配置され、近接場光を生成または選択的に透過させる微細構造と、誘電率または透磁率が異方性を示し、近接場光を伝達する超高波数伝達媒質106と、を備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
試料に照明光を射出するための光照射部と、
光を受光する受光部と、
前記光照射部の射出側および前記受光部の入射側のうち少なくとも何れか一方に配置され、近接場光を生成または選択的に透過させる微細構造と、
誘電率または透磁率が異方性を示し、近接場光を伝達する超高波数伝達媒質と、
を備える近接場光学顕微鏡。
IPC (3件)：
G01Q 60/22
, G01Q 60/18
, G01Q 70/10
G01Q60/22 101
, G01Q60/18
, G01Q70/10
