特許
J-GLOBAL ID：201203071752008650
エッチング液管理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-028738
公開番号（公開出願番号）：特開2012-127004
出願日： 2012年02月13日
公開日（公表日）： 2012年07月05日
要約：
【課題】エッチング液を所定の硝酸濃度、酢酸濃度及び燐酸濃度に自動制御し、かつエッチング処理槽の液補給に対して適切な管理を行ない、もってエッチング性能を常時一定化するエッチング装置を提供する。【解決手段】エッチング液を貯留するエッチング処理槽1と、エッチング液を循環させるエッチング液循環機構10と、アルミニウム膜を含む基板を搬送するエッチング処理機構5と、を備えるエッチング処理装置において用いられるエッチング液管理装置において、エッチング液サンプリング手段34と、エッチング液の吸光度を1920〜1960nmの範囲のうち特定の測定波長を用いて測定することにより、前記エッチング液の水分濃度に相関する吸光度値を得る吸光光度計Eと、前記吸光光度計により得られた吸光度値に基づいて、前記エッチング処理槽に補充液を供給する補充液供給手段24〜27と、を備える。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
エッチング液を貯留するエッチング処理槽と、前記エッチング処理槽に貯留されたエッチング液を循環させるエッチング液循環機構と、前記エッチング液循環機構により循環させられるエッチング液によりエッチングされるアルミニウム膜を含む基板を搬送するエッチング処理機構と、を備えるエッチング処理装置において用いられるエッチング液管理装置において、
エッチング液をサンプリングするエッチング液サンプリング手段と、
前記エッチング液サンプリング手段によりサンプリングされたエッチング液の吸光度を1920〜1960nmの範囲のうち特定の測定波長を用いて測定することにより、前記特定の測定波長を用いて測定した前記エッチング液の吸光度と水分濃度との間の直線関係に基づいて、前記エッチング液の水分濃度に相関する吸光度値を得る吸光光度計と、
前記吸光光度計により得られた吸光度値に基づいて、前記エッチング処理槽に補充液を供給する補充液供給手段と、
を備えることを特徴とするエッチング液管理装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (8件)：
4K057WA19
, 4K057WB05
, 4K057WE04
, 4K057WE11
, 4K057WE12
, 4K057WG03
, 4K057WL10
, 4K057WN01
