特許
J-GLOBAL ID：201203072817382446
ガス導入機構を備えたキャンロールおよびこれを用いた長尺基板の処理装置ならびに処理方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
辻川 典範
, 山本 正緒
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-287148
公開番号（公開出願番号）：特開2012-132081
出願日： 2010年12月24日
公開日（公表日）： 2012年07月12日
要約：
【課題】 真空チャンバー内へのガス漏れを抑制しつつキャンロールの外周面と長尺基板との間に形成される隙間にガスを導入する方法及び装置を提供する。【解決手段】 冷媒循環部11と、周方向に略均等な間隔をあけて全周に亘って配設された複数のガス導入路14と、これら複数のガス導入路14の各々に真空チャンバー51外部のガスを供給するロータリージョイント20とを備え、搬送される長尺基板Fを外周面に部分的に巻き付けて冷却するキャンロール56であって、各ガス導入路14は、キャンロール56の回転軸方向に沿って外周面側に開口する複数のガス放出孔15を有しており、ロータリージョイント20は、各ガス導入路14に対して長尺基板Fを巻き付ける角度範囲内に位置しているか否かに応じて当該ガス導入路14にガスを供給するか否か制御する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
冷媒が循環する冷媒循環部と、周方向に略均等な間隔をあけて全周に亘って配設された複数のガス導入路と、これら複数のガス導入路の各々に真空チャンバー外部のガスを供給するロータリージョイントとを備え、真空チャンバー内においてロールツーロールで搬送される長尺基板を外周面に部分的に巻き付けて冷却するキャンロールであって、
前記複数のガス導入路の各々は、キャンロールの回転軸方向に沿って略均等な間隔をあけて外周面側に開口する複数のガス放出孔を有しており、前記ロータリージョイントは、各ガス導入路に対して長尺基板を巻き付ける角度範囲内に位置しているか否かに応じて当該ガス導入路にガスを供給するか否か制御することを特徴とするキャンロール。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (14件)：
4K029AA11
, 4K029AA25
, 4K029BA08
, 4K029BA25
, 4K029BB02
, 4K029BC03
, 4K029CA05
, 4K029DC03
, 4K029DC04
, 4K029DC16
, 4K029DC34
, 4K029DC39
, 4K029JA10
, 4K029KA03
