特許
J-GLOBAL ID：201203072961613720
真空分析装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人京都国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-175904
公開番号（公開出願番号）：特開2012-038483
出願日： 2010年08月05日
公開日（公表日）： 2012年02月23日
要約：
【課題】大気開放路106末端から反応室3に大気ガスを混入させない真空分析装置を提供する。【解決手段】真空反応室3と、ガス源4と、反応室3に出口端が接続された流量制御用抵抗管11と、流量制御用抵抗管11の上流に配置された圧力検出手段14と、圧力検出手段14の検出値が所定値になるよう流量制御用抵抗管11から出るガス量を調節する流量調節手段7と、流量調節手段7と圧力検出手段14の間でガスを分岐し、スプリット用抵抗管103を備えるスプリット流路101と、流量調節手段7と圧力検出手段14の間で上流から流れるガスを分岐して大気中に放出する大気開放路106と、大気開放路106に設けられたバルブ104とを有する真空分析装置で、バルブ104の直下にスプリット流路101を接続する。ガスがバルブ104下流に流入するため大気開放バルブ104開放時に大気ガスが拡散によって混入するのを防ぐことができる。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
a)真空反応室と、
b)前記真空反応室内にガスを供給するガス源と、
c)前記真空反応室に出口端が接続された流量制御用抵抗管と、
d)前記流量制御用抵抗管の上流に配置された圧力検出手段と、
e)前記圧力検出手段と前記ガス源との間に配置され、前記圧力検出手段による検出値が所定値になるように、前記流量制御用抵抗管から流れ出るガス量を調節する流量調節手段と、
f)前記流量調節手段と前記圧力検出手段との間で、その上流から流れてくるガスを分岐し、スプリット用抵抗管を備えるスプリット流路と、
g)前記流量調節手段と前記圧力検出手段との間で、その上流から流れてくるガスを分岐して大気中に放出する大気開放路と、
h)前記大気開放路に設けられたバルブと、
を有する真空分析装置において、
前記大気開放路の前記バルブの直下に前記スプリット流路を接続したことを特徴とする真空分析装置。
IPC (4件)：
H01J 43/28
, H01J 49/26
, H01J 49/14
, H01J 37/18
H01J43/28
, H01J49/26
, H01J49/14
, H01J37/18
5C033KK09
, 5C038GH08
, 5C038GH17
, 5C038HH30
