特許

J-GLOBAL ID：201203075492700429

ロードロックモジュール、ウエハ加工処理システム及びウエハの加工処理方法

発明者： 小澤 泰史
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (2件)： 河野 登夫 ,  河野 英仁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-213218
公開番号（公開出願番号）：特開2012-216752
出願日： 2011年09月28日
公開日（公表日）： 2012年11月08日
要約：

【課題】ウエハの冷却による反りを検出し、ウエハの落下または破損を未然に防ぐことができるロードロックモジュール、該ロードロックモジュールを備えるウエハ加工処理システム、該ウエハ加工処理システムで行われるウエハの加工処理方法を提供する。【解決手段】ウエハ10を冷却する冷却部12を備えるロードロックモジュール1において、前記冷却部12の冷却によって前記ウエハ10に生じる反りを検出する検出部を備えることを特徴とするロードロックモジュール1を提供する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

ウエハを冷却する冷却部を備えるロードロックモジュールにおいて、 前記ウエハの外周上の複数の点の位置を測定するセンサ、 前記複数の点によって規定される円の中心位置を算出する中心位置算出部、 算出した円の中心位置と前記冷却部または前記ウエハにおける所定の位置との距離を算出する距離算出部及び 前記冷却部による冷却後に前記中心位置と前記距離とに基づいて前記ウエハの反りを検出する検出部を備える ことを特徴とするロードロックモジュール。

IPC (1件)：

H01L 21/68

FI (1件)：

H01L21/68 F

Fターム (29件)：

5F031CA02 ,  5F031DA08 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA02 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031HA33 ,  5F031HA38 ,  5F031HA58 ,  5F031HA59 ,  5F031JA03 ,  5F031JA04 ,  5F031JA28 ,  5F031JA29 ,  5F031JA34 ,  5F031JA35 ,  5F031JA36 ,  5F031JA38 ,  5F031KA07 ,  5F031KA08 ,  5F031KA13 ,  5F031KA14 ,  5F031NA05 ,  5F031NA07 ,  5F031PA13