特許

J-GLOBAL ID：201203075850851833

High-k金属ゲート・トランジスタに対するスレショルド電圧制御および駆動電流改良のための方法および構造体

発明者： ブ、フイミング ,  チャドズィック、マイケル、ピー ,  へ、ウェイ ,  ハ、ラシュミ ,  キム、ヤンヒー ,  クリシュナン、シダース、エー ,  モー、レニー、ティー ,  ムーメン、ナイム ,  ナツル、ウェスリー、シー
出願人/特許権者： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション
代理人 (3件)： 上野 剛史 ,  太佐 種一 ,  市位 嘉宏
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-503548
公開番号（公開出願番号）：特表2012-522400
出願日： 2010年03月29日
公開日（公表日）： 2012年09月20日
要約：

【課題】High-k金属ゲート・トランジスタに対するスレショルド電圧制御および駆動電流改良のための方法および構造体を提供する。【解決手段】デバイスを形成する方法は、基板を用意するステップと、基板上に界面層を形成するステップと、界面層上にHigh-k誘電体層を堆積するステップと、High-k誘電体層上に酸素除去層を堆積するステップと、アニールを実施するステップとを含む。High-k金属ゲート・トランジスタは、基板と、基板上の界面層と、界面層上のHigh-k誘電体層と、High-k誘電体層上の酸素除去層とを含む。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

デバイスを形成する方法であって、 基板(100)を用意するステップと、 前記基板(100)上に界面層(200)を形成するステップと、 前記界面層(200)上にHigh-k誘電体層(300)を堆積するステップと、 前記High-k誘電体層(300)上に酸素除去層(400)を堆積するステップと、 アニールを実施するステップと、 を含む、前記方法。

IPC (12件)：

H01L 29/78 ,  H01L 21/336 ,  H01L 27/092 ,  H01L 21/823 ,  H01L 21/283 ,  H01L 21/28 ,  H01L 29/423 ,  H01L 29/49 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/316 ,  H01L 21/318 ,  C23C 16/40

FI (12件)：

H01L29/78 301G ,  H01L27/08 321D ,  H01L21/283 B ,  H01L21/28 301R ,  H01L29/58 G ,  H01L29/78 617U ,  H01L29/78 617T ,  H01L29/78 617V ,  H01L29/78 627F ,  H01L21/316 X ,  H01L21/318 A ,  C23C16/40

Fターム (110件)：

4K030BA10 ,  4K030BA17 ,  4K030BA18 ,  4K030BA22 ,  4K030BA29 ,  4K030BA35 ,  4K030BA38 ,  4K030BA42 ,  4K030BA43 ,  4K030BA46 ,  4K030BB12 ,  4K030DA02 ,  4K030DA09 ,  4K030FA10 ,  4K030JA01 ,  4K030LA02 ,  4K030LA15 ,  4M104AA01 ,  4M104AA02 ,  4M104AA03 ,  4M104AA04 ,  4M104AA05 ,  4M104AA09 ,  4M104BB04 ,  4M104BB30 ,  4M104CC05 ,  4M104DD28 ,  4M104DD33 ,  4M104DD43 ,  4M104DD79 ,  4M104EE03 ,  4M104EE16 ,  4M104GG08 ,  4M104GG10 ,  4M104GG14 ,  5F048AA07 ,  5F048AA08 ,  5F048AA09 ,  5F048AB10 ,  5F048AC03 ,  5F048BA01 ,  5F048BA14 ,  5F048BA16 ,  5F048BB09 ,  5F048BB11 ,  5F058BA01 ,  5F058BB01 ,  5F058BB02 ,  5F058BB06 ,  5F058BC08 ,  5F058BC09 ,  5F058BD10 ,  5F058BD12 ,  5F058BE01 ,  5F058BE10 ,  5F058BF02 ,  5F058BF55 ,  5F058BF59 ,  5F058BF60 ,  5F058BF61 ,  5F058BF64 ,  5F058BH03 ,  5F058BH04 ,  5F058BJ01 ,  5F058BJ10 ,  5F110AA07 ,  5F110AA08 ,  5F110BB04 ,  5F110CC01 ,  5F110DD01 ,  5F110DD12 ,  5F110FF01 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF04 ,  5F110FF09 ,  5F110FF23 ,  5F110FF26 ,  5F110FF27 ,  5F110FF29 ,  5F110FF36 ,  5F110GG02 ,  5F110GG03 ,  5F110GG04 ,  5F140AA00 ,  5F140AA05 ,  5F140AA06 ,  5F140AA40 ,  5F140AB03 ,  5F140BA01 ,  5F140BA03 ,  5F140BA05 ,  5F140BA06 ,  5F140BA08 ,  5F140BD01 ,  5F140BD02 ,  5F140BD04 ,  5F140BD05 ,  5F140BD07 ,  5F140BD09 ,  5F140BD11 ,  5F140BD12 ,  5F140BE07 ,  5F140BE08 ,  5F140BE09 ,  5F140BE10 ,  5F140BE17 ,  5F140BF05 ,  5F140BF10 ,  5F140BG44