特許
J-GLOBAL ID:201203076049418180
レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
新樹グローバル・アイピー特許業務法人
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-084449
公開番号(公開出願番号):特開2012-226338
出願日: 2012年04月03日
公開日(公表日): 2012年11月15日
要約:
【課題】CD均一性が良好で、かつ欠陥が少ないパターンを製造することができるレジスト組成物の提供。【解決手段】(A1)式(I)で表される構造単位を有する樹脂、(A2)式(II)で表される構造単位を有し、アルカリ水溶液に不溶又は難溶であり、酸の作用によりアルカリ水溶液で溶解し得る樹脂及び(B)酸発生剤を含有するレジスト組成物。[式中、R2は、フッ素原子を有する炭化水素基;環T1は、スルトン環を表す。]【選択図】なし
請求項(抜粋):
(A1)式(I)で表される構造単位を有する樹脂、
(A2)式(II)で表される構造単位を有し、アルカリ水溶液に不溶又は難溶であり、酸の作用によりアルカリ水溶液で溶解し得る樹脂及び
(B)酸発生剤を含有するレジスト組成物。
IPC (4件):
G03F 7/039
, G03F 7/004
, H01L 21/027
, C08F 20/18
FI (4件):
G03F7/039 601
, G03F7/004 501
, H01L21/30 502R
, C08F20/18
Fターム (55件):
2H125AF17P
, 2H125AF18P
, 2H125AF38P
, 2H125AF45P
, 2H125AF70P
, 2H125AH17
, 2H125AH19
, 2H125AH23
, 2H125AH24
, 2H125AH29
, 2H125AJ14X
, 2H125AJ64X
, 2H125AJ65X
, 2H125AJ68X
, 2H125AJ69X
, 2H125AM22P
, 2H125AM99P
, 2H125AN38P
, 2H125AN39P
, 2H125AN45P
, 2H125AN54P
, 2H125AN65P
, 2H125BA02P
, 2H125BA26P
, 2H125CA12
, 2H125CB09
, 2H125CC03
, 2H125CC15
, 2H125FA03
, 4J100AL08P
, 4J100AL08Q
, 4J100AL08R
, 4J100AL08S
, 4J100AL08T
, 4J100BA02T
, 4J100BA03R
, 4J100BA11S
, 4J100BA15P
, 4J100BA15Q
, 4J100BA15T
, 4J100BA34T
, 4J100BB18P
, 4J100BB18Q
, 4J100BC04Q
, 4J100BC09Q
, 4J100BC09R
, 4J100BC53S
, 4J100BC84T
, 4J100CA01
, 4J100CA04
, 4J100DA01
, 4J100FA03
, 4J100FA19
, 4J100GC16
, 4J100JA38
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