特許

J-GLOBAL ID：201203076382140114

センサーデバイス、力検出装置およびロボット

発明者： ▲土▼屋 和博 ,  神谷 俊幸
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修 ,  宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-089841
公開番号（公開出願番号）：特開2012-220462
出願日： 2011年04月14日
公開日（公表日）： 2012年11月12日
要約：

【課題】力検出装置への組み込みにおいても、センサー素子の位置ずれが発生せず、高いセンサー感度が維持されるセンサーデバイス、および力検出装置を提供する。【解決手段】センサーデバイス100は、圧電体40と、電極50とを積層して形成されるセンサー素子60と、前記センサー素子を収納する、第1容器10と第2容器20と、を備え、前記第1容器10および第2容器20により、前記圧電体40および前記電極50の積層方向に前記センサー素子を押圧する押圧部30と、を有する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

圧電体と、電極とを積層して形成されるセンサー素子と、 前記センサー素子を収納する、第1容器と第2容器と、を備え、 前記第1容器および第2容器により、前記圧電体および前記電極の積層方向に前記センサー素子を押圧する押圧部と、を有する、 ことを特徴とするセンサーデバイス。

IPC (2件)：

G01L 1/16 ,  G01L 5/16

FI (2件)：

G01L1/16 C ,  G01L5/16

Fターム (3件)：

2F051AA10 ,  2F051AB08 ,  2F051DA03

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-346041
  
• アクチュエータ及び噴射装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-096112   出願人：京セラ株式会社
• 特開平4-231827