特許
J-GLOBAL ID：201203076727453200
ガス導入機構を備えたキャンロールおよびそれを用いた長尺基板の処理装置ならびに処理方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
辻川 典範
, 山本 正緒
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-269677
公開番号（公開出願番号）：特開2012-117128
出願日： 2010年12月02日
公開日（公表日）： 2012年06月21日
要約：
【課題】 真空チャンバー内へのガス漏れを抑制しつつキャンロールの外周面と長尺基板との間に形成される隙間にガスを導入する装置を提供する。【解決手段】 真空チャンバー51内においてロールツーロールで搬送される長尺基板Fを冷媒で冷却された外周面に巻き付けて冷却するキャンロール56であって、周方向に略均等な間隔をあけて全周に亘って配設された複数のガス導入路14を有しており、これら複数のガス導入路14の各々はキャンロール56の回転軸56a方向に沿って略均等な間隔をあけて外周面側に開口する複数のガス導入孔15を有しており且つ長尺基板Fが外周面に巻き付けられる領域であるか否かに対応して設けられた永久磁石などの磁力付与手段65によって開閉するガス導入バルブ20に接続している。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
真空チャンバー内においてロールツーロールで搬送される長尺基板を冷媒で冷却された外周面に巻き付けて冷却するキャンロールであって、
周方向に略均等な間隔をあけて全周に亘って配設された複数のガス導入路を有しており、これら複数のガス導入路の各々はキャンロールの回転軸方向に沿って略均等な間隔をあけて外周面側に開口する複数のガス導入孔を有しており且つ長尺基板が外周面に巻き付けられる領域であるか否かに対応して設けられた磁力付与手段によって開閉するガス導入バルブに接続していることを特徴とするキャンロール。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (15件)：
4K029AA11
, 4K029AA25
, 4K029BA08
, 4K029BA25
, 4K029BB02
, 4K029BC03
, 4K029CA05
, 4K029DC03
, 4K029DC04
, 4K029DC08
, 4K029DC16
, 4K029DC34
, 4K029DC39
, 4K029JA10
, 4K029KA03
