特許

J-GLOBAL ID：201203076796983270

寸法測定装置、寸法測定方法及び寸法測定装置用のプログラム

発明者： 川 泰孝
出願人/特許権者： 株式会社キーエンス
代理人 (1件)： 大槻 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-019768
公開番号（公開出願番号）：特開2012-159410
出願日： 2011年02月01日
公開日（公表日）： 2012年08月23日
要約：

【課題】 ワークの寸法を高い精度で測定することができるとともに、被写界深度を越える段差を有するワークであっても、測定対象とする箇所を容易に設定することができる寸法測定装置を提供する。【解決手段】 可動ステージ12上のワークWを撮影する撮像手段と、可動ステージ12のZ方向の位置が異なる複数のワーク画像を深度合成し、深度合成画像を生成する深度合成手段と、マスターピースを撮影して得られる深度合成画像をマスター画像M1として画面表示するマスター画像表示手段と、マスター画像M1に対し測定対象箇所及び測定方法を指定し、測定箇所情報を生成する測定箇所情報生成手段と、測定箇所情報に基づいて、ワークWを撮影して得られた深度合成画像から測定対象箇所のエッジを抽出するエッジ抽出手段と、抽出されたエッジに基づいて、測定対象箇所の寸法値を求める寸法値算出手段により構成される。【選択図】 図7

請求項（抜粋）：

Z方向に移動可能な可動ステージ上のワークを撮影したワーク画像のエッジに基づいてワークの寸法を測定する寸法測定装置において、 上記可動ステージ上のワークを撮影し、ワーク画像を生成する撮像手段と、 上記可動ステージのZ方向の位置が異なる2以上の上記ワーク画像を深度合成し、深度合成画像を生成する深度合成手段と、 マスターピースを撮影して得られる上記深度合成画像をマスター画像として画面表示するマスター画像表示手段と、 上記マスター画像に対し測定対象箇所及び測定方法を指定し、測定箇所情報を生成する測定箇所情報生成手段と、 上記測定箇所情報に基づいて、ワークを撮影して得られた上記深度合成画像から上記測定対象箇所のエッジを抽出するエッジ抽出手段と、 抽出された上記エッジに基づいて、上記測定対象箇所の寸法値を求める寸法値算出手段とを備えたことを特徴とする寸法測定装置。

IPC (2件)：

G01B 9/04 ,  G01B 11/02

FI (2件)：

G01B9/04 ,  G01B11/02 H

Fターム (32件)：

2F064MM01 ,  2F064MM02 ,  2F064MM04 ,  2F064MM23 ,  2F064MM24 ,  2F064MM45 ,  2F064MM47 ,  2F064MM50 ,  2F065AA12 ,  2F065AA21 ,  2F065FF04 ,  2F065FF26 ,  2F065GG17 ,  2F065HH13 ,  2F065HH15 ,  2F065HH16 ,  2F065HH17 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL12 ,  2F065LL30 ,  2F065MM02 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ28 ,  2F065QQ31 ,  2F065RR05 ,  2F065RR08 ,  2F065SS04 ,  2F065SS13