特許
J-GLOBAL ID：201203077556910450
レーザ光の光軸方向の測定方法、長さ測定システム、および位置決め精度の検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岩橋 祐司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-238327
公開番号（公開出願番号）：特開2012-093105
出願日： 2010年10月25日
公開日（公表日）： 2012年05月17日
要約：
【課題】ターゲットの位置決め範囲が従来より狭く、かつ、測定光の光軸が固定されたレーザ干渉計であっても、測定光の光軸方向を測定可能な方法を提供すること。【解決手段】レーザ干渉計104と再帰反射体106とハンドリング装置102を有する測定システム100を用いる。レーザ干渉計104は、測定光を再帰反射体106に照射し、その反射光と参照光との干渉光強度を検出する。ハンドリング装置102は、再帰反射体106を測定位置まで移動して位置座標情報を検出する。まず、レーザ干渉計104が干渉光を検出でき、かつ同一平面上に存在しない少なくとも4つの測定位置piを選ぶ。再帰反射体106を各測定位置piに移動させて、その位置座標情報を検出する。レーザ干渉計104が再帰反射体106までの距離の変化量を測定する。各測定位置の位置座標情報と各距離の変化量に基づき測定光のベクトル情報 a を算出する。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
レーザ光を測定光と参照光に分割して、該測定光で外部のターゲットを照射し、ターゲットからの反射光と前記参照光との干渉光強度を検出するレーザ干渉計と、
前記ターゲットとして用いられ前記レーザ干渉計からの測定光の入射方向によらないで該測定光と平行な反射光を前記レーザ干渉計に返す再帰反射体と、
前記再帰反射体を支持して所定空間の任意の測定位置まで移動するとともに、該再帰反射体の位置座標情報を検出するハンドリング装置と、
を有し、前記ハンドリング装置が前記ターゲットを移動させた際の、前記レーザ干渉計からターゲットまでの距離の変化量を前記干渉光強度の変化に基づいて測定する測定システムを用いて、
前記レーザ干渉計の測定光の光軸方向を固定するステップと、
固定された測定光を前記再帰反射体が反射できる該再帰反射体の位置範囲から、前記レーザ干渉計が干渉光を検出でき、かつ、同一平面上に存在しない少なくとも4つの測定位置を選ぶステップと、
前記ハンドリング装置が前記再帰反射体を前記少なくとも4つの測定位置に移動させて、各測定位置の位置座標情報を検出するステップと、
前記再帰反射体が各測定位置間を移動する際に、前記レーザ干渉計が前記再帰反射体までの距離の変化量を測定するステップと、
前記ハンドリング装置で検出された各測定位置の位置座標情報、および前記レーザ干渉計で測定された各距離の変化量に基づいて、測定光の光軸方向を示すベクトル情報を算出するステップと、を備えることを特徴とするレーザ光の光軸方向の測定方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (20件)：
2F064AA06
, 2F064EE01
, 2F064FF01
, 2F064GG12
, 2F064GG16
, 2F064GG22
, 2F064HH01
, 2F064HH05
, 2F065AA31
, 2F065FF52
, 2F065FF67
, 2F065GG04
, 2F065HH04
, 2F065JJ01
, 2F065JJ18
, 2F065LL12
, 2F065LL17
, 2F065LL46
, 2F065PP04
, 2F065QQ00
