特許

J-GLOBAL ID：201203077654826220

干渉フィルター、光モジュール、及び分析装置

発明者： 松野 靖史 ,  藤澤 里志
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人樹之下知的財産事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-151283
公開番号（公開出願番号）：特開2012-014006
出願日： 2010年07月01日
公開日（公表日）： 2012年01月19日
要約：

【課題】高分解能で、かつ低コストで製造可能な干渉フィルターを提供する。【解決手段】エタロン5は、下部基板51と、下部基板51に対向する上部基板52と、下部基板51に設けられる下部反射膜56と、上部基板52に設けられるとともに、下部反射膜56に対してギャップを介して対向する上部反射膜57と、を備え、下部基板51の上部基板52に対向する面のうち、少なくとも下部反射膜56が設けられる下部反射膜形成面511Aには、上部基板52に対向する表面が平滑面となる平滑膜512が設けられ、下部反射膜56は、平滑膜512の表面に設けられる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

第一基板と、 前記第一基板に対向する第二基板と、 前記第一基板に設けられた第一反射膜と、 前記第二基板に設けられ、前記第一反射膜に対してギャップを介して対向する第二反射膜と、 を備え、 前記第一基板の前記第二基板に対向する面のうち、少なくとも前記第一反射膜が設けられた第一反射膜形成面には、前記第二基板に対向する側の面が平滑面である平滑膜が設けられ、 前記第一反射膜は、前記平滑膜の表面に設けられた ことを特徴とする干渉フィルター。

IPC (3件)：

G02B 5/28 ,  G01J 3/26 ,  G01J 3/51

FI (3件)：

G02B5/28 ,  G01J3/26 ,  G01J3/51

Fターム (21件)：

2G020AA08 ,  2G020BA12 ,  2G020CB04 ,  2G020CB43 ,  2G020CC31 ,  2G020CC55 ,  2G020CD04 ,  2G020CD12 ,  2G020DA12 ,  2H048GA01 ,  2H048GA03 ,  2H048GA04 ,  2H048GA09 ,  2H048GA13 ,  2H048GA15 ,  2H048GA23 ,  2H048GA26 ,  2H048GA43 ,  2H048GA48 ,  2H048GA61 ,  2H048GA62