特許

J-GLOBAL ID：201203078434397880

局所クリーン化搬送装置

発明者： 大槻 孝行
出願人/特許権者： 株式会社日立ハイテクコントロールシステムズ
代理人 (1件)： ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-269967
公開番号（公開出願番号）：特開2012-116647
出願日： 2010年12月03日
公開日（公表日）： 2012年06月21日
要約：

【課題】ファンフィルタユニットの風量を上げることなくダウンフローの流れを維持し、異物の巻き上げ等を抑えて高い局所クリーン性能を発揮する局所クリーン化搬送装置の提供。【解決手段】 基板搬送ロボット103は往復移動することができ、実線202の位置へ移動した場合、局所クリーン化搬送装置101の側面に設けられた開口量調節機構Aの開口量調節板402を作動して開口部402を開ことで、基板搬送ロボット103により押された空気が側面にぶつかって巻き上がらないようし、矢印403、404、405、406の様に外部へ排出する。 また、基板搬送ロボット103が遠ざかる場合は、開口部401が閉じ、外部からの空気の流入を防ぐ。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

装置内を往復移動して基板を搬送する基板搬送ロボットを備え、装置の上部に設置されたファンフィルタユニットからの空気を装置の下部に設けられた排気口から排気することでダウンフローを形成する局所クリーン化搬送装置において、前記基板搬送ロボットの往復移動によって空気圧を受ける装置の側面に形成した開口部、及びこの開口部の開口量を調節する開口量調節機構を備えることを特徴とする局所クリーン化搬送装置。

IPC (3件)：

B65G 49/00 ,  H01L 21/677 ,  F24F 7/06

FI (3件)：

B65G49/00 A ,  H01L21/68 A ,  F24F7/06 C

Fターム (19件)：

3L058BF01 ,  5F031CA02 ,  5F031CA04 ,  5F031DA01 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031GA02 ,  5F031GA44 ,  5F031JA01 ,  5F031JA10 ,  5F031JA22 ,  5F031JA32 ,  5F031JA47 ,  5F031MA03 ,  5F031NA02 ,  5F031NA16 ,  5F031NA17