特許

J-GLOBAL ID：201203079177069015

反射防止膜及び光学素子

発明者： 圷 収 ,  枇榔 竜二
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (3件)： 近島 一夫 ,  阪本 善朗 ,  大田 隆史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-270016
公開番号（公開出願番号）：特開2012-141594
出願日： 2011年12月09日
公開日（公表日）： 2012年07月26日
要約：

【課題】可視領域内の最大反射率を0.4%以下に低減する。【解決手段】反射防止膜は、波長400[nm]から700[nm]の範囲における屈折率が1.2以上1.3以下となる表面層を備えている。また、反射防止膜は、表面層と基板との間に交互に積層配置された高屈折率層及び低屈折率層を備えている。そして、反射防止膜は、これら表面層、高屈折率層及び低屈折率層により計層数が7層以上11層以下で構成されている。高屈折率層は、波長400[nm]から700[nm]の範囲における屈折率が2.1以上2.4以下となる材料で形成されている。低屈折率層は、波長400[nm]から700[nm]の範囲における屈折率が1.42以上1.5以下となる材料で形成されている。そして、可視領域内の最大反射率が0.4%以下となるように、各層の膜厚が設定されている。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

基板上に形成される7層構造の反射防止膜であって、 空気側から前記基板側に向かって順に第1層、第2層、第3層、第4層、第5層、第6層、第7層とし、 前記第1層は、波長400[nm]から700[nm]の範囲における屈折率が1.2以上1.3以下の表面層であり、 前記第2層、前記第4層及び前記第6層は、波長400[nm]から700[nm]の範囲における屈折率が1.42以上1.5以下の低屈折率層であり、 前記第3層、前記第5層及び前記第7層は、波長400[nm]から700[nm]の範囲における屈折率が2.1以上2.4以下の高屈折率層であり、 前記第1層から前記第7層の膜厚をそれぞれd1、d2、d3、d4、d5、d6、d7としたとき、 54[nm]≦d1≦125[nm] 10[nm]≦d2≦86[nm] 10[nm]≦d3≦24[nm] 26[nm]≦d4≦71[nm] 18[nm]≦d5≦41[nm] 27[nm]≦d6≦51[nm] 10[nm]≦d7≦21[nm] であることを特徴とする反射防止膜。

IPC (1件)：

G02B 1/11

FI (1件)：

G02B1/10 A

Fターム (5件)：

2K009AA09 ,  2K009BB02 ,  2K009CC03 ,  2K009CC09 ,  2K009CC26