特許

J-GLOBAL ID：201203079177256672

インプリントにおける離型方法

発明者： 渡辺 雄介 ,  鈴木 宏太
出願人/特許権者： HOYA株式会社
代理人 (5件)： 阿仁屋 節雄 ,  油井 透 ,  清野 仁 ,  福岡 昌浩 ,  奥山 知洋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-107753
公開番号（公開出願番号）：特開2012-236371
出願日： 2011年05月13日
公開日（公表日）： 2012年12月06日
要約：

【課題】モールドに、別途、離型層を設けることなく所定のパターンを転写した被成形物を良好に離型する。【解決手段】モールド30に形成された所望のパターンを被成形材料に転写することで被成形物を成形するインプリントでの被成形物からモールド30を引き離す離型方法において、被成形物とモールド30との離型力を低減させるように、前記被成形物を収縮させる収縮工程と、収縮工程後、被成形物からモールド30を引き離す離型工程とを備えることで実現する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

モールドに形成された所望のパターンを被成形材料に転写することで被成形物を成形するインプリントにおいて被成形物からモールドを引き離す離型方法であって、 前記被成形物とモールドとの離型力を低減させるように、前記被成形物を収縮させる収縮工程と、 前記収縮工程後、前記被成形物からモールドを引き離す離型工程とを備えること を特徴とするインプリントにおける離型方法。

IPC (4件)：

B29C 59/02 ,  H01L 21/027 ,  G11B 5/84 ,  G11B 5/855

FI (4件)：

B29C59/02 Z ,  H01L21/30 502D ,  G11B5/84 Z ,  G11B5/855

Fターム (15件)：

4F209AA44 ,  4F209AF01 ,  4F209AH33 ,  4F209AH73 ,  4F209AH79 ,  4F209PA02 ,  4F209PA15 ,  4F209PB01 ,  4F209PN06 ,  4F209PN09 ,  4F209PQ14 ,  5D112AA19 ,  5D112BA10 ,  5D112GA00 ,  5F146AA34