特許
J-GLOBAL ID:201203080520663554

接合用ペースト、および半導体素子と基板の接合方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 渡會 祐介
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-035348
公開番号(公開出願番号):特開2012-174480
出願日: 2011年02月22日
公開日(公表日): 2012年09月10日
要約:
【課題】 Au-Sn合金はんだより低温で接合可能な接合用ペースト、およびこの接合用ペーストを用いる半導体素子と基板の接合方法を提供することを課題とする。【解決手段】 (A)平均粒子径が100nm以下の金属ナノ粒子と、(B)沸点が50〜100°Cの溶剤と、(C)沸点が150〜200°Cの溶剤を含有し、(B)成分と(C)成分の合計100質量部に対して、(B)成分を10〜30質量部含有することを特徴とする、接合用ペーストである。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
(A)平均粒子径が100nm以下の金属ナノ粒子と、(B)沸点が50〜100°Cの溶剤と、(C)沸点が150〜200°Cの溶剤を含有し、(B)成分と(C)成分の合計100質量部に対して、(B)成分を10〜30質量部含有することを特徴とする、接合用ペースト。
IPC (2件):
H01B 1/22 ,  H01L 21/52
FI (2件):
H01B1/22 D ,  H01L21/52 E
Fターム (6件):
5F047AA17 ,  5F047BA52 ,  5F047BB11 ,  5F047BB16 ,  5G301DA03 ,  5G301DD03
引用特許:
審査官引用 (5件)
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