特許
J-GLOBAL ID:201203080550941680
電界効果トランジスタ及びその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (7件):
特許業務法人浅村特許事務所
, 浅村 皓
, 浅村 肇
, 上村 陽一郎
, 安藤 克則
, 亀岡 幹生
, 浅野 裕一郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-186428
公開番号(公開出願番号):特開2012-044109
出願日: 2010年08月23日
公開日(公表日): 2012年03月01日
要約:
【課題】半導体材料として特定の有機複素環化合物を用いて、実用的な印刷適性を有し、さらにキャリア移動度、ヒステリシスや閾値安定性などの優れた半導体特性を有し、産業上実用的な特定のトップゲート構造の電界効果トランジスタを提供する。【解決手段】半導体材料として下記式(1)で表される化合物を含有し、特定のトップゲート-ボトムコンタクト構造を有することを特徴とする電界効果トランジスタ。(式(1)中、R1及びR2はそれぞれ独立に無置換またはハロゲノ置換C1-C36脂肪族炭化水素基を表す。)【選択図】なし
請求項(抜粋):
半導体材料として下記式(1)で表される化合物を含有し、トップゲート構造を有することを特徴とする電界効果トランジスタ。
IPC (6件):
H01L 51/30
, H01L 51/05
, H01L 29/786
, H01L 21/336
, H01L 21/368
, C07D 495/04
FI (7件):
H01L29/28 250H
, H01L29/28 100A
, H01L29/78 618B
, H01L29/78 618A
, H01L29/78 617V
, H01L21/368 L
, C07D495/04 103
Fターム (77件):
4C071AA01
, 4C071AA07
, 4C071BB01
, 4C071BB05
, 4C071CC22
, 4C071DD04
, 4C071EE13
, 4C071FF23
, 4C071GG01
, 4C071GG02
, 4C071LL10
, 5F053AA06
, 5F053DD19
, 5F053LL10
, 5F110AA01
, 5F110AA14
, 5F110AA16
, 5F110AA28
, 5F110BB01
, 5F110BB03
, 5F110BB05
, 5F110BB09
, 5F110BB20
, 5F110CC05
, 5F110DD01
, 5F110DD02
, 5F110DD03
, 5F110DD25
, 5F110EE01
, 5F110EE02
, 5F110EE03
, 5F110EE04
, 5F110EE07
, 5F110EE08
, 5F110EE42
, 5F110EE43
, 5F110EE44
, 5F110FF01
, 5F110FF02
, 5F110FF03
, 5F110FF22
, 5F110FF27
, 5F110FF29
, 5F110FF30
, 5F110GG05
, 5F110GG06
, 5F110GG19
, 5F110GG25
, 5F110GG28
, 5F110GG32
, 5F110GG42
, 5F110GG43
, 5F110GG44
, 5F110GG51
, 5F110GG52
, 5F110GG57
, 5F110GG58
, 5F110HK01
, 5F110HK02
, 5F110HK03
, 5F110HK04
, 5F110HK06
, 5F110HK07
, 5F110HK09
, 5F110HK10
, 5F110HK11
, 5F110HK25
, 5F110HK32
, 5F110HK33
, 5F110NN04
, 5F110NN22
, 5F110NN23
, 5F110NN24
, 5F110NN27
, 5F110NN33
, 5F110NN34
, 5F110QQ06
引用特許:
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