特許

J-GLOBAL ID：201203081923960385

表面欠陥検査装置および表面欠陥検出方法

発明者： 神山 栄治
出願人/特許権者： 株式会社SUMCO
代理人 (3件)： 杉村 憲司 ,  来間 清志 ,  下地 健一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-152643
公開番号（公開出願番号）：特開2012-013632
出願日： 2010年07月05日
公開日（公表日）： 2012年01月19日
要約：

【課題】ウェーハ表面のLPDの検出と暗視野像の検出とを並行して行うことができ、且つ、LPDの検出感度を高めた表面欠陥検査装置および表面欠陥検出方法を提供する。【解決手段】表面検査装置は、ウェーハ1の表面に対して斜め方向からレーザー光を照射する光源10と、照射により前記ウェーハ表面で散乱・乱反射された光を結像させる結像光学系21と、散乱・乱反射された光の結像位置に受光面を有する面センサ22と、面センサ22から画像信号を取得し、この画像信号に基づきウェーハ1表面の画像を生成する画像処理部32とを備える。照射されるレーザー光の光軸とウェーハ1との相対位置を変位させつつ、画像処理部32は、変位に応じて一部が重複したウェーハ1上の複数領域に対応する複数の画像信号を取得して、スペックルノイズを除去した暗視野像を合成する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ウェーハの表面に対して斜め方向からレーザー光を照射する光源と、 前記照射により前記ウェーハ表面で散乱・乱反射された光を結像させる結像光学系と、 前記散乱・乱反射された光の結像位置に受光面を有する面センサと、 前記面センサから画像信号を取得し、該画像信号に基づきウェーハ表面の画像を生成する画像処理部とを備え、 前記レーザー光の光軸と前記ウェーハとの相対位置を変位させるとともに、前記画像処理部は、前記変位に応じて一部が重複したウェーハ上の複数領域に対応する複数の前記画像信号を取得して、スペックルノイズを除去した暗視野像を合成するように構成したことを特徴とする表面欠陥検査装置。

IPC (2件)：

G01N 21/956 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

G01N21/956 A ,  H01L21/66 J ,  H01L21/66 N

Fターム (20件)：

2G051AA51 ,  2G051AB07 ,  2G051BA10 ,  2G051BB05 ,  2G051CA04 ,  2G051CB05 ,  2G051CC09 ,  2G051DA05 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EA23 ,  4M106AA01 ,  4M106BA05 ,  4M106CA38 ,  4M106CB19 ,  4M106DB02 ,  4M106DB04 ,  4M106DB08 ,  4M106DB20 ,  4M106DJ15