特許

J-GLOBAL ID：201203082475364489

クロストーク補正係数算出方法およびクロストーク補正係数算出装置およびこれを用いた三次元表面形状測定装置

発明者： 北川 克一
出願人/特許権者： 東レエンジニアリング株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-266064
公開番号（公開出願番号）：特開2012-117858
出願日： 2010年11月30日
公開日（公表日）： 2012年06月21日
要約：

【課題】 複数波長による表面形状の測定方法およびこれを用いた装置によって測定する場合に発生するクロストーク現象のクロストーク補正係数を算出する。【解決手段】 測定対象面の平面領域内から輝度の異なる6点以上の干渉輝度信号を取得し、前記輝度信号に干渉縞モデルとクロストークモデルとの組み合わせを適合(フィッティング)することにより、クロストーク補正係数を一括して算出するクロストーク補正係数算出方法、また、該方法を実行できる装置を提供する。【選択図】 図10

請求項（抜粋）：

波長の異なる複数m個の単色光を出射する照明手段からの出射光を測定対象面と参照面とに同時に照射し、前記測定対象面と前記参照面の各々から反射して同一の光路を戻る反射光によって前記複数の単色光ごとに生じる干渉縞輝度値を分光手段を備えた撮像手段によって、電気的信号強度に変換し、得られた干渉縞輝度信号に基づいて、測定対象面の表面高さと表面形状を求めて三次元形状を測定する際のクロストーク補正係数算出方法において、 前記測定対象面の領域内から(m+3)点以上の干渉縞輝度信号を取得し、前記干渉縞輝度信号に、干渉縞モデルとクロストークモデルとの組み合わせを適合(フィッティング)することにより、クロストーク補正係数を一括して算出することを特徴とするクロストーク補正係数算出方法。

IPC (2件)：

G01B 9/02 ,  G01B 11/24

FI (2件)：

G01B9/02 ,  G01B11/24 D

Fターム (46件)：

2F064AA09 ,  2F064CC01 ,  2F064EE01 ,  2F064FF03 ,  2F064FF05 ,  2F064FF07 ,  2F064GG02 ,  2F064GG12 ,  2F064GG22 ,  2F064GG42 ,  2F064GG44 ,  2F064GG64 ,  2F064HH03 ,  2F064HH08 ,  2F064HH09 ,  2F064JJ01 ,  2F065AA24 ,  2F065AA53 ,  2F065BB01 ,  2F065BB22 ,  2F065CC02 ,  2F065CC19 ,  2F065DD06 ,  2F065FF04 ,  2F065FF52 ,  2F065GG02 ,  2F065GG07 ,  2F065GG22 ,  2F065GG23 ,  2F065GG24 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL01 ,  2F065LL04 ,  2F065LL11 ,  2F065LL22 ,  2F065LL46 ,  2F065PP04 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ18 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ41 ,  2F065QQ44 ,  2F065SS13