特許

J-GLOBAL ID：201203083221533759

電子線照射装置

発明者： 松尾 健一
出願人/特許権者： 株式会社IHI
代理人 (1件)： 特許業務法人青海特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-109980
公開番号（公開出願番号）：特開2012-242145
出願日： 2011年05月17日
公開日（公表日）： 2012年12月10日
要約：

【課題】照射領域に導入する気体を工夫することで、効率的にオゾンを発生させることができるとともに、電子線照射装置や遮蔽壁の腐食を防止する。【解決手段】電子線照射装置100は、熱電子を放出する電子銃110と、真空状態に維持される真空室内で電子銃110から放出された熱電子を加速する加速器118と、加速器118が加速した熱電子を電子線として大気圧雰囲気に取り出すスキャンホーン120と、大気圧雰囲気に取り出された電子線が被照射物Wに照射される領域である照射領域Rに酸素を導入する酸素導入装置300とを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

熱電子を放出する電子銃と、 真空状態に維持される真空室内で前記電子銃から放出された熱電子を加速する加速器と、 前記加速器が加速した熱電子を電子線として大気圧雰囲気に放出するスキャンホーンと、 大気圧雰囲気に取り出された前記電子線が被照射物に照射される領域である照射領域に酸素を導入する酸素導入装置と、 を備えたことを特徴とする電子線照射装置。

IPC (4件)：

G21K 5/00 ,  G21K 5/04 ,  B01J 19/08 ,  C01B 13/10

FI (4件)：

G21K5/00 B ,  G21K5/04 E ,  B01J19/08 A ,  C01B13/10 Z

Fターム (28件)：

4C058AA01 ,  4C058BB06 ,  4C058BB07 ,  4C058BB09 ,  4C058CC04 ,  4C058EE02 ,  4C058EE23 ,  4C058EE26 ,  4C058JJ14 ,  4C058KK01 ,  4C058KK11 ,  4C058KK22 ,  4G042CA02 ,  4G042CA05 ,  4G042CB29 ,  4G042CE04 ,  4G075AA07 ,  4G075AA37 ,  4G075BB10 ,  4G075CA39 ,  4G075CA51 ,  4G075DA02 ,  4G075DA12 ,  4G075EA01 ,  4G075EC25 ,  4G075ED11 ,  4G075FB02 ,  4G075FC09