特許
J-GLOBAL ID:201203083221909910
感光性樹脂組成物、感光性樹脂積層体、レジストパターン形成方法及び導体パターン製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (6件):
青木 篤
, 石田 敬
, 古賀 哲次
, 中村 和広
, 齋藤 都子
, 三間 俊介
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-067204
公開番号(公開出願番号):特開2012-203165
出願日: 2011年03月25日
公開日(公表日): 2012年10月22日
要約:
【課題】感度、解像度及び密着性に優れ、ドライフィルム保存時の脱色が起こらず、かつアルカリ性水溶液によって現像しうる感光性樹脂組成物の提供。【解決手段】(a)カルボキシル基を含有するアルカリ可溶性高分子:20〜80質量%、(b)エチレン性不飽和付加重合性モノマー:5〜60質量%、(c)光重合開始剤:0.1〜20質量%、及び(d)分子内にグリシジル基を2つ有する特定構造のアルキレンオキシド化合物:0.10〜1.0質量%を含有する感光性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項(抜粋):
(a)カルボキシル基を含有するアルカリ可溶性高分子:20〜80質量%、(b)エチレン性不飽和付加重合性モノマー:5〜60質量%、(c)光重合開始剤:0.1〜20質量%、及び(d)下記一般式(I):
IPC (5件):
G03F 7/004
, G03F 7/027
, C08G 59/22
, H05K 3/06
, H05K 3/24
FI (6件):
G03F7/004 501
, G03F7/027 502
, G03F7/004 512
, C08G59/22
, H05K3/06 J
, H05K3/24 A
Fターム (50件):
2H125AC24
, 2H125AC33
, 2H125AC34
, 2H125AC35
, 2H125AC63
, 2H125AC64
, 2H125AD14
, 2H125AD24
, 2H125AE12P
, 2H125AM10P
, 2H125AM13P
, 2H125AM23P
, 2H125AM32P
, 2H125AN03P
, 2H125AN47P
, 2H125AN49P
, 2H125AN61P
, 2H125AN66P
, 2H125AN73P
, 2H125AN80P
, 2H125AN82P
, 2H125AN87P
, 2H125BA05P
, 2H125BA09P
, 2H125BA17P
, 2H125CA13
, 2H125CB03
, 2H125CC01
, 2H125CC13
, 4J036AB01
, 4J036AB10
, 4J036AD15
, 4J036EA03
, 4J036FB03
, 4J036GA29
, 4J036JA08
, 4J036JA09
, 5E339BE13
, 5E339CC02
, 5E339CD01
, 5E339CE14
, 5E339CE16
, 5E339CF15
, 5E339CG04
, 5E343CC62
, 5E343DD21
, 5E343ER16
, 5E343ER18
, 5E343GG08
, 5E343GG11
引用特許:
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