特許

J-GLOBAL ID：201203083583279095

露光装置

発明者： 水村 通伸 ,  畑中 誠
出願人/特許権者： 株式会社ブイ・テクノロジー
代理人 (1件)： 笹島 富二雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-145865
公開番号（公開出願番号）：特開2012-008427
出願日： 2010年06月28日
公開日（公表日）： 2012年01月12日
要約：

【課題】大面積の被露光体における非周期性のパターンの露光を高解像力にて行う。【解決手段】被露光体の面及びフォトマスクの面に平行な面内を矢印B方向に移動可能に形成されレンズ組立体11が、フォトマスクのマスクパターンの等倍正立像を被露光体表面に結像可能に構成した複数のレンズ群15を矢印B方向と交差する方向に一定の配列ピッチで並べて複数のレンズ列16を形成し、且つ各レンズ列16の各レンズ群15が矢印B方向に対して斜めに交差する軸線O-Oに平行に並ぶように各レンズ列16を矢印B方向と交差する方向に相互に一定量だけシフトさせて形成すると共に、互いに隣接する端部11Aa,11Ba,11Bb,11Caを軸線O-Oに平行に切除した構成の複数の単位レンズ組立体11A〜11Cを各レンズ列16のレンズ群15が矢印B方向と交差方向に一定の配列ピッチで並ぶように一列に並べた構成を有するものである。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

被露光体を載置するステージとマスクパターンを形成したフォトマスクとの間にて前記被露光体の面及び前記フォトマスクの面に平行な面内を移動可能に形成され、前記フォトマスクのマスクパターンの等倍正立像を前記被露光体表面に結像可能に構成した複数のレンズ群を前記移動方向と交差する方向に一定の配列ピッチで並べて複数のレンズ列を形成した複数の単位レンズ組立体を前記移動方向と交差方向に一列に並べて有するレンズ組立体を備えて構成され、 前記各単位レンズ組立体は、前記各レンズ列の各レンズ群が前記レンズ組立体の移動方向に対して斜めに交差する軸線に平行に並ぶように前記各レンズ列を前記移動方向と交差する方向に相互に一定量だけシフトさせて形成すると共に、互いに隣接する端部を前記軸線に平行に切除した構成を成し、且つ前記各レンズ列のレンズ群が前記レンズ組立体の全体に亘って一定の配列ピッチで並ぶように配置されたことを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

G03F 7/20 ,  G02F 1/136 ,  G02F 1/13

FI (3件)：

G03F7/20 501 ,  G02F1/1368 ,  G02F1/13 101

Fターム (12件)：

2H088FA30 ,  2H088HA08 ,  2H088HA24 ,  2H092JA24 ,  2H092JB22 ,  2H092JB31 ,  2H092MA14 ,  2H092MA16 ,  2H092MA35 ,  2H097AB07 ,  2H097CA06 ,  2H097LA12