特許
J-GLOBAL ID：201203083858185860
電子検出装置及び走査型電子顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡本 啓三
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-546563
公開番号（公開出願番号）：特表2012-500447
出願日： 2008年08月20日
公開日（公表日）： 2012年01月05日
要約：
電子検出装置は、電子銃から放出される電子ビームを通過させる光軸上に開口を有した1つのシンチレータ31と、シンチレータと接合され、光軸に対称に配置された複数の同形のホトガイド22と、各ホトガイド22の光軸側と対向する側に接続され、ホトガイド22を介して受光したシンチレータ31により発光された光を電気信号に変換する光電子増倍管とを有する。各ホトガイド22はシンチレータ31を光軸対称に等分に分割するように接合され、各ホトガイド22のシンチレータ31と接合する部分の位置及び面積は各ホトガイド22で同一である。複数のホトガイド22による前記シンチレータ31の分割数は、少なくとも2以上である。
請求項（抜粋）：
電子銃から放出される電子ビームを通過させる光軸上に開口を有した1つのシンチレータと、
前記シンチレータと接合され、光軸に対称に配置された複数の同形のホトガイドと、
前記各ホトガイドの光軸側と対向する側に接続され、当該ホトガイドを介して受光した前記シンチレータにより発光された光を電気信号に変換する光電子増倍管と、を有し、
前記各ホトガイドは前記シンチレータを光軸対称に等分に分割するように接合され、当該各ホトガイドの前記シンチレータと接合する部分の位置及び面積は前記各ホトガイドで同一であることを特徴とする電子検出装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (7件)：
5C033NN01
, 5C033NP02
, 5C033NP05
, 5C033NP06
, 5C033NP08
, 5C033UU04
, 5C033UU06
