特許
J-GLOBAL ID：201203085512453500
露光方法及びその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-005744
公開番号（公開出願番号）：特開2012-145869
出願日： 2011年01月14日
公開日（公表日）： 2012年08月02日
要約：
【課題】LED光源において使用するLED素子数を削減し、小型で低コストで、短時間に十分な光量を獲ることができる露光用光源を提供する。【解決手段】 露光装置を、露光光を発光する露光用光源手段と、露光用基板を載置して平面内で移動可能なテーブル手段と、テーブル手段と露光用光源手段とを制御する制御手段とを備えて構成し、露光用光源手段は複数の発光素子を2次元に配列した光源部を備え、制御手段は、露光用光源手段でテーブル手段に載置された露光用基板を所定の時間内に所定の露光総光量で露光するときに、光源部を制御してこの光源部から複数のパルス光を順次照射条件を変えながら発光させて露光用基板に照射するように構成した。【選択図】図1A
請求項（抜粋）：
露光光を発光する露光用光源手段と、
感光剤が塗布された露光用基板を載置して平面内で移動可能なテーブル手段と、
前記テーブル手段と前記露光用光源手段とを制御する制御手段と
を備えた露光装置であって、
前記露光用光源手段は複数の発光素子を2次元に配列した光源部を備え、
前記制御手段は、前記露光用光源手段で前記テーブル手段に載置された前記露光用基板に塗布された感光剤を所定の時間内に所定の露光総光量で露光するときに、前記光源部を制御して該光源部から複数のパルス光を順次照射条件を変えながら発光させて前記露光用基板に塗布された感光剤を露光する
ことを特徴とする露光装置。
IPC (2件)：
FI (4件)：
G03F7/20 501
, G03F7/20 505
, H01L21/30 515B
, H01L21/30 516D
2H097AA03
, 2H097BB01
, 2H097BB10
, 2H097CA03
, 2H097CA17
, 2H097GA45
, 5F046CA03
, 5F046DA02
, 5F146CA03
, 5F146DA02
