特許

J-GLOBAL ID：201203085713947519

塗布装置、および塗布方法

発明者： 大宅 宗明 ,  高村 幸宏 ,  相良 秀一 ,  伊藤 隆介
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (2件)： 吉竹 英俊 ,  有田 貴弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-218866
公開番号（公開出願番号）：特開2012-071268
出願日： 2010年09月29日
公開日（公表日）： 2012年04月12日
要約：

【課題】塗布された塗布液の膜厚の均一性を改善する。【解決手段】塗布液を吐出している吐出部を基板に対して相対移動させることによって該基板に塗布液を塗布して塗布膜を形成する塗布装置であって、基板に塗布液を吐出する吐出部と、前記吐出部を前記基板に対して相対移動させる移動機構と、前記吐出部と前記移動機構とを用いて試行的に形成された塗布膜の膜厚情報を取得する取得部と、速度変更部とを備える。そして、前記速度変更部は、前記基板に対して相対移動中の前記吐出部の移動速度を前記膜厚情報に応じて変更する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

塗布液を吐出している吐出部を基板に対して相対移動させることによって該基板に塗布液を塗布して塗布膜を形成する塗布装置であって、 基板に塗布液を吐出する吐出部と、 前記吐出部を前記基板に対して相対移動させる移動機構と、 前記吐出部と前記移動機構とを用いて試行的に形成された塗布膜の膜厚情報を取得する取得部と、 前記基板に対して相対移動中の前記吐出部の移動速度を前記膜厚情報に応じて変更する速度変更部と、 を備えることを特徴とする塗布装置。

IPC (5件)：

B05C 11/10 ,  B05C 5/00 ,  H01L 51/50 ,  H05B 33/10 ,  B05D 1/26

FI (5件)：

B05C11/10 ,  B05C5/00 101 ,  H05B33/14 A ,  H05B33/10 ,  B05D1/26 Z

Fターム (40件)：

3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC33 ,  3K107CC45 ,  3K107GG06 ,  3K107GG28 ,  3K107GG35 ,  4D075AC06 ,  4D075AC09 ,  4D075AC92 ,  4D075AC93 ,  4D075AC94 ,  4D075BB92X ,  4D075BB95Y ,  4D075CA48 ,  4D075CB08 ,  4D075DA03 ,  4D075DA06 ,  4D075DB13 ,  4D075DB14 ,  4D075DB31 ,  4D075DC24 ,  4D075EA05 ,  4D075EA07 ,  4D075EA10 ,  4D075EB01 ,  4D075EB11 ,  4F041AA02 ,  4F041AA05 ,  4F041AB01 ,  4F041BA13 ,  4F041BA56 ,  4F042AA02 ,  4F042AA06 ,  4F042AB00 ,  4F042BA04 ,  4F042BA25 ,  4F042DF05 ,  4F042DF09 ,  4F042DF10