特許

J-GLOBAL ID：201203087514532175

X線結晶方位測定装置及びX線結晶方位測定方法

発明者： 菊池 哲夫
出願人/特許権者： 株式会社リガク
代理人 (1件)： 横川 邦明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-220088
公開番号（公開出願番号）：特開2012-073193
出願日： 2010年09月29日
公開日（公表日）： 2012年04月12日
要約：

【課題】面方位測定とノッチ方位測定の両方を1つの測定で同時に行うことができるようにする。【解決手段】X線源Fからの連続X線を平行化して単結晶試料位置へ導くコリメータ33と、試料の格子面(001)に対応したラウエ像を検出できる第1位置に配置された第1の2次元検出器31と、試料の格子面(hhl)に対応したラウエ像を検出できる第2の位置に配置された第2の2次元検出器32と、第1の2次元検出器31の出力に基づいて格子面(001)の法線ベクトルV001を演算し、第2の2次元検出器32の出力に基づいて格子面(hhl)の法線ベクトルVhhlを演算し、ベクトルV001とベクトルVhhlとに基づいて方位マークの方向を演算する演算装置とを有するX線結晶方位測定装置である。2つの格子面(001)及び(hhl)は方位マークを付けようとしている結晶方位を晶帯軸とするときにその晶帯軸に属する格子面である。【選択図】図11

請求項（抜粋）：

連続X線を発生するX線源と、 前記連続X線を平行化して単結晶試料位置へ導くコリメータと、 前記単結晶試料の格子面(001)に対応したラウエ像を検出できる第1の位置に配置された第1の2次元検出器と、 前記単結晶試料の格子面(hhl(エル))に対応したラウエ像を検出できる第2の位置に配置された第2の2次元検出器と、 前記第1の2次元検出器の出力に基づいて格子面(001)の法線ベクトルV001を演算し、前記第2の2次元検出器の出力に基づいて格子面(hhl(エル))の法線ベクトルVhhl(エル)を演算し、ベクトルV001とベクトルVhhl(エル)とに基づいて方位マークの方向を演算する演算手段と、 を有し、 前記2つの格子面(001)及び(hhl(エル))は方位マークを付けようとしている結晶方位を晶帯軸とするときにその晶帯軸に属する格子面である ことを特徴とするX線結晶方位測定装置。

IPC (1件)：

G01N 23/207

FI (1件)：

G01N23/207

Fターム (14件)：

2G001AA01 ,  2G001BA19 ,  2G001CA01 ,  2G001DA02 ,  2G001DA09 ,  2G001FA24 ,  2G001GA00 ,  2G001GA06 ,  2G001GA13 ,  2G001HA01 ,  2G001JA08 ,  2G001KA08 ,  2G001LA11 ,  2G001MA06