特許
J-GLOBAL ID:201203087661195125
抵抗変化素子
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (18件):
蔵田 昌俊
, 河野 哲
, 中村 誠
, 福原 淑弘
, 峰 隆司
, 白根 俊郎
, 村松 貞男
, 野河 信久
, 幸長 保次郎
, 河野 直樹
, 砂川 克
, 勝村 紘
, 佐藤 立志
, 岡田 貴志
, 堀内 美保子
, 竹内 将訓
, 市原 卓三
, 山下 元
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-211270
公開番号(公開出願番号):特開2012-069602
出願日: 2010年09月21日
公開日(公表日): 2012年04月05日
要約:
【課題】 特性の向上した抵抗変化素子を提供する。【解決手段】本実施形態の抵抗変化素子は、第1の電極28に隣接する抵抗膜21と、第2の電極29に隣接する抵抗膜22と、2つの抵抗膜21,22との間に挟まれ障壁膜23と、抵抗膜21,22内に添加される金属不純物24と、を具備し、金属不純物24は、電極28,29間に印加された電圧に起因する電界の向きに応じて、2つの抵抗膜21,22間を移動し、金属不純物24が抵抗膜21に存在する場合に、低抵抗状態を示し、金属不純物24が抵抗膜22に存在する場合に、高抵抗状態を示す。【選択図】図2
請求項(抜粋):
第1の電極に隣接する第1の膜と、
第2の電極に隣接する第2の膜と、
前記第1の膜と前記第2の膜との間に挟まれた障壁膜と、
前記第1又は第2の膜内に添加される金属不純物と、を具備し、
前記金属不純物は、前記第1及び第2の電極間に印加された第1の電圧に起因する第1の電界の向きに応じて、前記第1及び第2の膜間を双方向に移動し、
前記金属不純物が前記第1の膜に存在する場合に、低抵抗状態を示し、
前記金属不純物が前記第2の膜に存在する場合に、高抵抗状態を示すことを特徴とする抵抗変化素子。
IPC (3件):
H01L 27/105
, H01L 49/00
, H01L 45/00
FI (3件):
H01L27/10 448
, H01L49/00 Z
, H01L45/00 Z
Fターム (14件):
5F083FZ10
, 5F083GA10
, 5F083GA11
, 5F083JA35
, 5F083JA39
, 5F083JA40
, 5F083JA56
, 5F083JA60
, 5F083LA04
, 5F083LA05
, 5F083LA06
, 5F083LA07
, 5F083LA10
, 5F083ZA21
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