特許

J-GLOBAL ID：201203087942912616

炭化珪素単結晶の製造方法及び炭化珪素単結晶の製造装置

発明者： 門原 拓也
出願人/特許権者： 株式会社ブリヂストン
代理人 (5件)： 三好 秀和 ,  岩▲崎▼ 幸邦 ,  伊藤 正和 ,  高橋 俊一 ,  高松 俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-031935
公開番号（公開出願番号）：特開2012-171800
出願日： 2011年02月17日
公開日（公表日）： 2012年09月10日
要約：

【課題】種結晶に起因した炭化珪素単結晶の品質の低下を抑制可能な炭化珪素単結晶の製造方法及び炭化珪素単結晶の製造装置を提供する。【解決手段】種結晶100の主面100bが開口部側に向き、種結晶100の主面100aが底部33側に向くように、種結晶100を固定部材200に固定し、炭化珪素部材150の主面100aは、種結晶100の主面100bに対向し、炭化珪素部材150の主面100aと種結晶100の主面100bとの間に空間Sを設けて、炭化珪素部材150を固定する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

開口部を有する坩堝本体と、前記開口部を塞ぐ蓋体とを備えた坩堝に炭化珪素単結晶の原料を配置する工程と、 炭化珪素からなる種結晶を前記坩堝に固定する種結晶固定工程と、 前記原料を加熱して、前記種結晶上に炭化珪素単結晶を成長させる工程と、を備えた炭化珪素単結晶の製造方法であって、 前記種結晶固定工程では、 炭化珪素からなる表面を有する炭化珪素部材を準備し、 前記種結晶の一方の表面が前記開口部側に向き、前記種結晶の他方の表面が前記坩堝本体の底部側に向くように、前記種結晶を固定し、 前記炭化珪素部材の前記表面は、前記種結晶に対向し、前記炭化珪素部材の前記表面と前記種結晶の一方の表面との間に隙間を設けて、前記炭化珪素部材を固定する炭化珪素単結晶の製造方法。

IPC (1件)：

C30B 29/36

FI (1件)：

C30B29/36 A

Fターム (8件)：

4G077AA02 ,  4G077BE08 ,  4G077DA02 ,  4G077DA18 ,  4G077EG11 ,  4G077SA01 ,  4G077SA04 ,  4G077SA12