特許
J-GLOBAL ID:201203088533082233
テラヘルツ波測定装置およびテラヘルツ波測定方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
横山 淳一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-201496
公開番号(公開出願番号):特開2012-058073
出願日: 2010年09月09日
公開日(公表日): 2012年03月22日
要約:
【課題】 本発明は、テラヘルツ波を用いて物性の測定を行うテラヘルツ波測定装置およびテラヘルツ波測定方法に関する。【解決手段】 本発明のテラヘルツ波測定装置は、本発明のテラヘルツ波測定装置は、パルスレーザーをポンプ光とプローブ光とに分割するビームスプリッターと、ポンプ光の入射によりテラヘルツ波を発生するテラヘルツ波発生器と、入射されたプローブ光から複数のパルスを生成するパルス列発生部と、パルス列をテラヘルツ波検出器に入射し、テラヘルツ波検出器に入射されたテラヘルツ波の電場の時間的変化を複数のパルスに基づいて測定するテラヘルツ波測定部とを備える、よう構成する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
パルスレーザーをポンプ光とプローブ光とに分割するビームスプリッターと、
前記ポンプ光の入射によりテラヘルツ波を発生するテラヘルツ波発生器と、
入射された前記プローブ光から複数のパルスを生成するパルス列発生部と、
前記パルス列をテラヘルツ波検出器に入射し、該テラヘルツ波検出器に入射された前記テラヘルツ波の電場の時間的変化を前記複数のパルスに基づいて測定するテラヘルツ波測定部と
を備えることを特徴とするテラヘルツ波測定装置。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (15件):
2G059AA01
, 2G059AA02
, 2G059BB10
, 2G059EE01
, 2G059FF04
, 2G059GG01
, 2G059GG08
, 2G059HH01
, 2G059JJ11
, 2G059JJ13
, 2G059JJ22
, 2G059KK01
, 2G059LL01
, 2G059MM01
, 2G059MM10
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