特許

J-GLOBAL ID：201203089102253738

ガスセンサ

発明者： 新西 一哉
出願人/特許権者： フィガロ技研株式会社
代理人 (2件)： 塩入 明 ,  塩入 みか
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-220480
公開番号（公開出願番号）：特開2012-078089
出願日： 2010年09月30日
公開日（公表日）： 2012年04月19日
要約：

【構成】 半導体チップの一面に感ガス部を有する絶縁膜が設けられ、感ガス部の裏面で半導体チップにキャビティが設けられている。半導体チップは、一面から反対面へと貫通し、感ガス部に電気的に接続される導電性のビアと、反対面に設けられかつビアに接続される配線とを備え、感ガス部は半導体チップに固着された通気性のカバーで覆われている。【効果】 パッケージへのダイボンドもワイヤボンドも無しに、ガスセンサをプリント基板に実装できる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

半導体チップの一面に感ガス部を有する絶縁膜が設けられ、前記感ガス部の裏面で半導体チップにキャビティが設けられたガスセンサにおいて、 前記半導体チップは、前記一面から反対面へと貫通し前記感ガス部に電気的に接続される導電性のビアと、前記反対面に設けられかつ前記ビアに接続される配線、とを備え、 かつ前記感ガス部が半導体チップに固着された通気性のカバーで覆われていることを特徴とする、ガスセンサ。

IPC (1件)：

G01N 27/12

FI (1件)：

G01N27/12 B

Fターム (6件)：

2G046BA01 ,  2G046BB02 ,  2G046BB06 ,  2G046BC07 ,  2G046BD02 ,  2G046BF01