特許
J-GLOBAL ID：201203089629782879
スパッタリング装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
岩田 今日文
, 瀬戸 さより
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-293523
公開番号（公開出願番号）：特開2012-140672
出願日： 2010年12月28日
公開日（公表日）： 2012年07月26日
要約：
【課題】冷却性能に優れたスパッタリング装置を提供する。【解決手段】ターゲット電極と、基板Wを載置することが可能な載置部と当該載置部に載置される基板との間に空間を形成する凹部を有する基板保持台107と、前記凹部内に冷却ガスを供給する供給源と、前記基板保持台との間に押し付け力を発生させて、前記基板を前記基板保持台に固定する保持部材と、前記基板保持台に接続される冷凍機108と、前記基板保持台を冷凍機と共に回転させる回転駆動手段と、を備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ターゲット電極と、
基板を載置することが可能な載置部と当該載置部に載置される基板との間に空間を形成する凹部を有する基板保持台と、
前記凹部内に冷却ガスを供給する供給源と、
前記基板保持台との間に押し付け力を発生させて、前記基板を前記基板保持台に固定する保持部材と、
前記基板保持台に接続される冷凍機と、
前記基板保持台を冷凍機と共に回転させる回転駆動手段と、
を備えることを特徴とするスパッタリング装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (11件)：
4K029AA24
, 4K029BA24
, 4K029BC06
, 4K029BD11
, 4K029CA05
, 4K029DA00
, 4K029DC04
, 4K029DC39
, 4K029EA08
, 5D034BA02
, 5D034DA04
