特許
J-GLOBAL ID：201203090172741282

触覚センサユニット

発明者：
時本 貴平

時本 貴平 について

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下山 勲

下山 勲 について

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松本 潔

松本 潔 について

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中井 亮仁

中井 亮仁 について


出願人/特許権者：
オリンパス株式会社

オリンパス株式会社 について

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国立大学法人 東京大学

国立大学法人 東京大学 について


代理人 (1件)： 伊藤 進
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-232949
公開番号（公開出願番号）：特開2012-088084
出願日： 2010年10月15日
公開日（公表日）： 2012年05月10日
要約：
【課題】小型の触覚センサユニット1を提供する【解決手段】触覚センサユニット1は、変形を検出するピエゾ抵抗層11Wが形成されたカンチレバー12を有する半導体基板11とカンチレバー12を内部に埋め込んだ弾性体13とピエゾ抵抗層11Wと接続されたバンプ14とを有するセンサチップ10と、接続パッド22と接続された配線層21とを有する配線板20と、を具備し、バンプ14と接続パッド22とを介して、センサチップ10が配線板20にフリップチップ実装されている。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
変形を検出するピエゾ抵抗層が形成されたカンチレバーを有する半導体基板と、前記カンチレバーを内部に埋め込んだ弾性体と、前記ピエゾ抵抗層と接続された接続用電極と、を有するセンサチップと 接続パッド、および、前記接続パッドと接続された配線層、を有する配線板と、を具備し、 前記接続用電極と前記接続パッドとを介して、前記センサチップが前記配線板にフリップチップ実装されていることを特徴とする触覚センサユニット。
IPC (2件)：
G01L 1/18 ,  G01L 5/16
FI (2件)：
G01L1/18 A ,  G01L5/16
Fターム (4件)：
2F051AA10 ,  2F051AB10 ,  2F051BA07 ,  2F051DA03
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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