特許

J-GLOBAL ID：201203091571553615

冷凍ピンチャック

発明者： 吉田 祥子 ,  福岡 聖一
出願人/特許権者： コバレントマテリアル株式会社
代理人 (2件)： 木下 茂 ,  石村 理恵
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-222049
公開番号（公開出願番号）：特開2012-079829
出願日： 2010年09月30日
公開日（公表日）： 2012年04月19日
要約：

【課題】チャックプレート上のすべてのピン頭に、ウェーハやマスク基板等の被加工物を凝固固着するために余剰な量の冷凍液の液滴を保持した場合においても、被加工物を変形させることなく、板状の被加工物を高平坦度で加工することが可能な冷凍ピンチャックを提供する。【解決手段】チャックプレート上面に多数のピン2が離散配置された冷凍ピンチャックにおいて、前記ピンのピン頭2aの半径r、隣り合うピン同士の間隔a及びピン高さhが、下記式(1) 4/3・πr3 < (a2-πr2)h ...(1)の関係を満たすような構成とする。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

チャックプレート上面に多数のピンが離散配置された冷凍ピンチャックであって、前記ピンのピン頭の半径r、隣り合うピン同士の間隔a及びピン高さhが、下記式(1) 4/3・πr3 < (a2-πr2)h ...(1) の関係を満たすことを特徴とする冷凍ピンチャック。

IPC (2件)：

H01L 21/683 ,  B23Q 3/08

FI (2件)：

H01L21/68 N ,  B23Q3/08 Z

Fターム (9件)：

3C016DA15 ,  5F031CA02 ,  5F031CA07 ,  5F031HA02 ,  5F031HA08 ,  5F031HA38 ,  5F031HA80 ,  5F031MA22 ,  5F031PA13