特許
J-GLOBAL ID:201203091575551870
液体吐出ヘッド用圧電アクチュエータユニット、それを用いた液体吐出ヘッドおよび記録装置
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-068187
公開番号(公開出願番号):特開2012-201009
出願日: 2011年03月25日
公開日(公表日): 2012年10月22日
要約:
【課題】共通電極と共通電極用接続電極との電気的接続の信頼性が高いとともに、反りの少ない液体吐出ヘッド用圧電アクチュエータユニット、それを用いた液体吐出ヘッドおよび記録装置を提供する。【解決手段】複数の圧電セラミック層21a、bが積層されている積層体と、該積層体の一方の主面に第1の方向および第1の方向とは異なる方向に渡って形成されている複数の個別電極35と、前記積層体の内部に形成されている共通電極34と、前記一方の主面の周縁領域に形成されており、共通電極34と電気的に接続されている共通電極用接続電極37とを有する液体吐出ヘッド用圧電アクチュエータユニット21であって、共通電極用接続電極37は、圧電セラミック層21bに設けられている貫通孔21c貫通孔内の導体を介して共通電極34に接続されているとともに、共通電極用接続電極37の貫通孔21cの周囲の平面形状が十字形状である。【選択図】図7
請求項(抜粋):
複数の圧電セラミック層が積層されている積層体と、該積層体の一方の主面に第1の方向および第1の方向とは異なる方向に渡って形成されている複数の個別電極と、前記積層体の内部に形成されている前記複数の個別電極に対向している共通電極と、前記一方の主面の周縁領域に形成されており、前記共通電極と電気的に接続されている共通電極用接続電極とを有する液体吐出ヘッド用圧電アクチュエータユニットであって、前記共通電極用接続電極は、前記共通電極用接続電極が形成されている前記圧電セラミック層に設けられている貫通孔内の導体を介して前記共通電極に接続されているとともに、前記共通電極用接続電極の前記貫通孔の周囲の平面形状が十字形状であることを特徴とする液体吐出ヘッド用圧電アクチュエータユニット。
IPC (2件):
FI (1件):
Fターム (3件):
2C057AG91
, 2C057BA04
, 2C057BA14
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